[实用新型]一种太阳电池扩散工艺的尾排装置

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳电池扩散工艺设备领域，具体涉及一种太阳电池扩散工艺的尾排装置。

背景技术

目前，晶体硅太阳电池的生产因工艺流程简单，便于大规模生产等优点而迅速发展起来，其中所述工艺流程中的一个极其重要的工序是采用扩散技术在硅片表面掺杂，控制移动扩散深度，形成电池的PN结；现在通用的一种太阳电池扩散工艺采用尾部进气扩散方式，其主要包括有石英炉管、气源柜、悬臂推拉舟装置、尾排装置及相关控制系统，制备时，在相关控制系统控制下，悬臂推拉舟装置将待制备的硅片由石英炉管的前部平稳地送入，气源柜经由控制阀、过滤器后，向密封的石英炉管的尾部通入反应气体，待反应后，残余的尾气体由尾排装置排出。

所述尾排装置除了用于排出石英炉管内残余的反应气体外，还起到了稳定石英炉管内的气压氛围作用，以保证工艺反应中石英炉管内所需气压的稳定性要求；现有尾排装置一般包括有连通管、尾排箱及主管道，连通管的一端贯穿入上述石英炉管内，连通管的另一端与尾排箱的输入端相连通，尾排箱的输出端经由一控制阀连接至主管道上，所述控制阀一般采用一蝶阀，由于其结构简单、启闭方便迅速等优点而广泛应用在尾排装置上；实际扩散设备中一般设有四个石英炉管，每个石英炉管的尾排箱的输出端均连接至上述主管道上，则该主管道的排风量较大，而在调节尾气排风时，每个石英炉管只配有单一蝶阀在进行排量控制，加上蝶阀在密封性上较差，这样容易导致石英炉管尾排的过大或过小，其尾排的不稳定性、调节的不精确会进一步影响了石英炉管内的工艺反应氛围，由此造成所得电池PN结在方阻等性能上的不均匀缺陷。

有鉴于此，本发明人对太阳电池扩散工艺的尾排装置进行了深入研究，本案由此产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其克服了现有技术中单一性控制阀在尾排控制中易出现不稳定，调节不精确而影响电池性能的问题。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其包括有连通管、尾排箱及主管道，上述连通管的一端贯穿入石英炉管内，另一端与上述尾排箱的输入端相连通，上述尾排箱的输出端与上述主管道间连接有一带有控制阀的管路，上述控制阀包括有一蝶阀和连接于该蝶阀与上述主管道间的球阀。

上述主管道的出口处设有一由普通开关阀和球阀构成的第二控制阀。

采用上述方案后，本实用新型一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其在尾排箱的输出端与主管道间的管路上设有控制阀，该控制阀包括有一蝶阀和连接于蝶阀与主管道间的球阀，实际扩散设备中所设的多个石英炉管对应的尾排箱的输出端均连接至上述主管道上，主管道的排风量较大，在调节尾气排风时，由蝶阀对石英炉管及相应管路段进行排量控制，而主管道与蝶阀间借由密封性较好的球阀的控制作用，可以大大削弱排风量较大的主管道经由管路对石英炉管产生的不稳定影响，由此借助蝶阀和球阀相互间的配合作用，加强了控制阀在尾排调节上的稳定性及精确度，进而确保了石英炉管内所需的工艺反应氛围及所得电池性能上的优良性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图(包括石英炉管及气源柜)。

标号说明

石英炉管    1        石英舟    2

气源柜      3        连通管    41

尾排箱    42        主管道        43

管路      44        蝶阀          45

球阀      46        普通开关阀    47

具体实施方式

为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。

本实用新型一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其与石英炉管1及气源柜3连接形成的工艺设备如图1所示，其主要包括有石英炉管1、带有石英舟2的悬臂推拉舟装置、气源柜3、尾排装置及相关控制系统(图中未示出)，制备时，在所述相关控制系统控制下，悬臂推拉舟装置的石英舟2将待制备的硅片由石英炉管1的前部平稳地送入，气源柜2经由控制阀、过滤器(图中未示出)后，向密封的石英炉管1的尾部通入反应气体，待反应后，残余的尾气体由尾排装置排出。