[实用新型]X射线透视成像被测物的四轴运动平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种X射线透视成像被测物的四轴运动平台，该平台可适合用于全自动的X射线精密透视成像检测设备。

背景技术

无损伤检测技术在工业生产中的应用,用高能射线照射被检测物，使之透视成像，从而得到被检测物内部的组织结构，实现无损检测 。一般的辐射成像装置，通常都会包括图像增强器、摄像机、图像采集卡、计算机中央处理单元、显示器、运动控制单元和电机驱动器及电机，图像增强器输出端的摄像机与图像采集卡连接,图像采集卡与具有实时成像检测软件的计算机中央处理单元连接,计算机中央处理单元再分别与显示器、运动控制单元连接,运动控制单元与电机驱动器连接。对被检测物所在平台需要适应于主控计算机对它的实时控制，因此，被测物的运动平台的运动能力将对获得三维的立体检测图像，全面反映被测物真实的内部结构检测结果非常重要。

实用新型内容

本实用新型目的在于提出了一种X射线透视成像被测物的四轴运动平台，该运动平台可适用于全自动的X射线精密透视成像检测设备中，从而使得全自动检测设备能适应于高精细检测的要求，以满足对电子及微电子组装中的集成电路及各种电子器件进行内部组织结构、连接导线微型焊点等特殊高精细检测的应用要求。

本实用新型是通过以下技术方案实现，该被测物四轴运动平台包括有可旋转的R转角检测平台、Y轴向运动装置、X轴向运动装置和Z轴向运动装置，将检测平台安装于Y轴向运动装置，然后两者整体再通过Y支架安装于X轴向运动装置，然后得到的三者整体通过X支架安装于Z轴向运动装置。

所述检测平台包括有一个圆盘、空心轴承、底板和R转角伺服电机，所述圆盘中心部分材料为对X光衰减较小的有机玻璃，被检测物即放在有机玻璃上面，所述R转角伺服电机安装于底板之上，所述空心轴承通过其内壁固定于圆盘并与圆盘底同圆心，空心轴承通过其外壁固定于底板上，所述圆盘圆周上设有齿圈，所述R转角伺服电机通过同步带驱动齿圈，实现以圆盘中心为圆心的旋转运动（R转角）。

所述Y轴向运动装置包括Y支架、滚珠丝杆和Y轴向驱动电机，所述Y支架为一立体框架体，该立体框架体包括两个相互垂直的水平工作面和竖向工作面，所述水平工作面作为支持面是由两相互平行的Y向直线框架件构成，每个Y向直线框架件上均设有Y向直线导轨，所述检测平台的底板置于Y支架的水平工作面，并通过底板下设置的两个滑块对应分别限位于两直线导轨上，使得检测平台通过底板只能在Y向作直线运动。所述滚珠丝杆通过轴承Y向安装于Y支架侧壁上，滚珠丝杆一端与Y轴向驱动电机输出轴连接，滚珠丝杆的螺母固定于底板底面，在Y向电机驱动下可通过滚珠丝杆及螺母带动检物平台进行前后Y向移动。进一步优化，为了加固立体框架体，使之更具稳定性，在所述两相互垂直工作面上增加横向支撑和斜向支撑的连接件。

所述X轴向运动装置包括X支架、滚珠丝杆和X轴向驱动电机，所述X支架上为一平面框架体，该平面框架体与Y支架中的竖向工作面为相互协同的工作面，X支架也设有两相互平行的X向直线导轨，所述Y支架的竖向工作面通过设置的两个滑块对应分别限位于X向两直线导轨上，使得Y轴向运动装置安装于X轴向运动装置并只能在X向作直线运动。驱动及传动方面，同理，所述滚珠丝杆通过轴承X向安装于X支架平面上，滚珠丝杆一端与X轴向驱动电机输出轴连接，滚珠丝杆的螺母固定于Y支架的竖向工作面上，在X轴向电机驱动下可通过滚珠丝杆、螺母带动Y轴向运动装置进行左右X向移动。

上述检测平台、Y轴向运动装置和X轴向运动装置全部结构，再叠加装在一个可以进行上下运动（Z轴向）的总支架上，该支架上分别装有Z向直线导轨，Z向滚珠丝杆及功率较大的Z轴向驱动电机 ，在该电机驱动下，可带动整个平台作上下运动。具体结构为：所述Z轴向运动装置包括Z支架、滚珠丝杆和Z轴向驱动电机及涡轮减速器，所述Z支架上也为平面框架体，该Z支架平面框架体以Z向竖直放置，Z支架也设有两相互平行的Z向直线导轨，所述X支架通过设置的两个滑块对应分别限位于Z向两直线导轨上，使得X轴向运动装置安装于Z轴向运动装置并只能在Z向作直线运动。驱动及传动方面，同理，所述滚珠丝杆通过轴承Z向安装于Z支架平面上，滚珠丝杆的一端与涡轮减速器联接，涡轮减速器另一端与Z轴向驱动电机输出轴连接，滚珠丝杆的螺母固定于X支架上，在Z轴向电机驱动下可通过滚珠丝杆螺母带动X轴向运动装置进行上下Z向运动。

本实用新型对被测物件可实现前后、左右、不同角度及上下（放大缩小）多方位全面检测 ，在多轴联动技术下可获得到三维立体检测的结果 ，实现对被检测物结构内部的真实情况检测。

附图说明