[实用新型]晶片清洗及干燥花篮

权利要求书

1.一种晶片清洗及干燥花篮，其特征在于，包括：

底杆，用于从底部支撑所述晶片；

侧杆，用于从侧面支撑所述晶片；

侧板，与所述底杆和所述侧杆连接，用于固定所述底杆和所述侧杆；

所述底杆和侧杆的表面上具有槽，用于定位所述晶片。

2.如权利要求1所述的晶片清洗及干燥花篮，其特征在于：

所述底杆为一个，设置于所述花篮的下侧；

所述侧杆为两个，分别设置于所述花篮的左、右两侧。

3.如权利要求2所述的晶片清洗及干燥花篮，其特征在于：

所述底杆和所述侧杆相互平行。

4.如权利要求1所述的晶片清洗及干燥花篮，其特征在于：

所述底杆和所述侧杆的横截面为圆形、三角形或矩形。

5.如权利要求1所述的晶片清洗及干燥花篮，其特征在于：

所述槽的横截面为梯形、矩形或圆弧形。

6.如权利要求2所述的晶片清洗及干燥花篮，其特征在于：

所述侧板与所述底杆和所述侧杆的两端可拆卸地连接。

7.如权利要求6所述的晶片清洗及干燥花篮，其特征在于：

所述侧板与所述底杆和所述侧杆的两端使用螺栓连接。

8.如权利要求2所述的晶片清洗及干燥花篮，其特征在于：

所述底杆与所述侧杆的间距以及所述侧杆之间的间距取决于所述晶片的尺寸。