[实用新型]片式频率器件芯片电性能测试夹持装置

权利要求书

1.一种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置，其特征是它包括电极板(1)、安装板(2)和真空连接头(3)，电极板为一块环氧树脂覆铜板，电极板的上表面有一对电极片(5)和一对引出电极(7)，电极片(5)的宽度与被测试的片式频率器件芯片的电极的宽度相接近，两电极片之间的间距与被测试的片式频率器件芯片的电极之间的间距相接近，每个电极片的中部各有一个抽气孔(6)，每个电极片各与一个引出电极(7)相连，安装板的中心有一个通孔(4)，此通孔的下部与真空连接头(3)密封相连，电极板固定在安装板的上表面上，电极板上的抽气孔(6)位于安装板上的通孔的上方。

2.如权利要求1所述的片式频率器件芯片电性能测试夹持装置，其特征是它还包括基座(10)、吸气管(12)，真空发生器(11)、两根导线(8)和测试电路板(9)，所述的安装板(2)固定在基座的上方，真空发生器固定在基座的一侧，吸气管的一端与真空连接头(3)相接，吸气管的另一端与真空发生器的进气口相接，测试电路板固定在基座上，两根导线的一端分别与所述的电极板(1)上的一个引出电极(7)相接，导线的另一端与测试电路板的输入端相接。