[实用新型]片式频率器件芯片电性能测试夹持装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种片式频率器件芯片电性能测试装置的部件，一种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置。 

背景技术

已有的片式频率器件芯片的电性能测试装置是将片式频率器件芯片放置在绝缘平台上，用探针接触片式频率器件芯片的外电极，探针与测试电路连接，测试电路用屏敝线与测试仪器连接，进行电性能测试。对于厚度薄、尺寸小的片式频率器件芯片(例如12M振子的尺寸为2.6mm×0.45mm×0.1mm，其引出电极的尺寸为0.2mm×0.45mm)无法用探针进行接触测试。 

发明内容

本实用新型旨在提出一种能对小型的片式频率器件芯片进行夹持并测试的片式频率器件芯片电性能测试夹持装置。 

这种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置包括电极板、安装板和真空连接头。电极板为一块环氧树脂覆铜板，电极板的上表面有一对电极片和一对引出电极，电极片的宽度与被测试的片式频率器件芯片的电极的宽度相接近，两电极片之间的间距与被测试的片式频率器件芯片的电极之间的间距相接近，每个电极片的中部各有一个抽气孔，每个电极片各与一个引出电极相连，安装板的中心有一个通孔，此通孔的下部与真空连接头密封相连，电极板固定在安装板的上表面上，电极板上的抽气孔位于安装板上的通孔的上方。 

这种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置使用时，将真空连接头与一个真空发生器相连，引出电极通过导线与测试电路相连，将被测试的片式频率器件芯片放置在两片电极片上，使片式频率器件芯片的电极与电极片相接触，两电极片上的抽气孔的负压吸力将片式频率器件芯片吸住，并使片式频率器件芯片的电极与电极片相紧贴，测试仪器即可通过测试电路、导线及引出电极对片式频率器件芯片进行电性能测试。 

附图说明

图1为这种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置的基本结构图； 

图2为电极板的俯视图； 

图3为片式频率器件芯片电性能测试夹持装置的第二种结构图； 

图4为图3所示装置的剖视图。 

具体实施方式

如图1所示，这种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置包括电极板1、安装板2和真空连接头3。如图2所示，电极板1为一块环氧树脂覆铜板，电极板的上表面有一对电极片5和一对引出电极7。电极片5的宽度与被测试的片式频率器件芯片的电极的宽度相接近，两电极片之间的间距与被测试的片式频率器件芯片的电极之间的间距相接近，每个电极片的中部各有一个抽气孔6，每个电极片各与一个引出电极7相连。如图1所示，安装板的中心有一个通孔4，此通孔的下部与真空连接头3密封相连，电极板固定在安装板的上表面上，电极板上的抽气孔6位于安装板上的通孔的上方。 

如图3和图4所示，这种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置还可以包括基座10、吸气管12，真空发生器11、两根导线8和测试电路板9。安装板2固定在基座10的上方，真空发生器11固定在基座的一侧，吸气管12的一端与真空连接头3相接，吸气管的另一端与真空发生器11的进气口相接，测试电路板9固定在基座上，两根导线的一端分别与所述的电极板1上的一个引出电极7相接，导线的另一端与测试电路板的输入端相接。 

这种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置使用时，将被测试的片式频率器件芯片用真空吸取式机械手移送过来放置在两片电极片5上，电极片上的抽气孔6的真空抽吸力将片式频率器件芯片吸住，并使片式频率器件芯片的电极与电极片5相紧贴，即可用测试仪器通过测试电路板9、导线8及引出电极7对片式频率器件芯片进行电性能测试。 

这种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置中的电极板1可以通过螺钉孔13用螺钉固定到安装板2上。可以根据被测片式频率器件芯片的尺寸更换有不同规格的电极片5的电极板。真空发生器11可以采用已有的产品，如SMC的型号为ZL112的真空发生器。与测试仪器连接用的屏敝线接头也可以固定在基座10上。