[实用新型]气浮式基板角度定位结构有效
| 申请号： | 201120213615.4 | 申请日： | 2011-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN202138864U | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 徐益盛;李育臻 | 申请（专利权）人： | 帆宣系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G51/02 | 分类号： | B65G51/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申海庆 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气浮式基板 角度 定位 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种气浮式基板角度定位结构，其特征在于包括：
一主架体，包括有着置部以及气浮板装设端；
一可旋摆式气浮设备，组设于该主架体的气浮板装设端，包括有气浮板以及气源供应装置，该气浮板具有一基板导入端，该气浮设备通过一角度调整装置构成该气浮板倾斜角度；
至少一第一承靠限位构件及第二承靠限位构件，分设于该气浮板上基板限位的X、Y轴相临二侧向固定位置处。
2.根据权利要求1所述的气浮式基板角度定位结构，其特征在于：该气浮板具有一镂空部位，该镂空部位对应于基板限位位置处。
3.根据权利要求1所述的气浮式基板角度定位结构，其特征在于：该角度调整装置包含有一连结座及一底座，该连结座连结于该主架体着置部，该底座通过固定组件锁固于连结座下方间隔处，该连结座各边角内缩位置穿设有螺杆，该螺杆端部抵迫于该连结座表面。
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