[实用新型]气浮式基板角度定位结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板气浮设备，特别涉及一种气浮式基板角度定位结构。

背景技术

本实用新型所述基板气浮设备，是指一种利用气压作用力承载晶圆片或硅芯片基板达到输送作业流程的设备，再通过机器手臂来完成拾取置放动作，一般而言，传统基板气浮设备于输送过程中，必须配合下一阶段流程作业呈一角度状态，而本实用新型即是针对所述基板气浮设备角度定位结构进行探讨改良。

综观而论，上段所述基板气浮设备角度定位结构，其结构设计上存在构件复杂而制造成本过高的问题，实为相关业者所困扰。

所以，针对上述现有结构所存在的问题，如何开发一种更具理想实用性的创新结构，为使用者所企盼，也是相关业者努力研发突破的目标及方向。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型目的在于提供一种结构简单、降低制造成本的气浮式基板角度定位结构。

为达到上述目的，本实用新型气浮式基板角度定位结构，包括：一主架体，包括有着置部以及气浮板装设端；一可旋摆式气浮设备，组设于该主架体的气浮板装设端，包括有气浮板以及气源供应装置，该气浮板具有一基板导入端，该气浮设备通过一角度调整装置构成该气浮板倾斜角度；至少一第一承靠限位构件及第二承靠限位构件，分设于该气浮板上基板限位的X、Y轴相临二侧向固定位置处。

该气浮板具有一镂空部位，该镂空部位对应于基板限位位置处。

该角度调整装置包含有一连结座及一底座，该连结座连结于该主架体着置部，该底座通过固定组件锁固于连结座下方间隔处，该连结座各边角内缩位置穿设有螺杆，该螺杆端部抵迫于该连结座表面。

本实用新型气浮式基板角度定位结构，由于该气浮板X、Y轴相临二侧向位置处分设有第一承靠限位构件及第二承靠限位构件，且所述气浮设备具有倾斜角度变化性，以此，所述基板通过该气浮板所向上喷射高压气柱，获得一种非接触式的气压撑持承载作用，且该基板相临二侧边能够抵靠于该第一、第二承靠限位构件，使该基板呈一角度漂浮状态；故整体而言，本实用新型所揭气浮式基板角度定位结构能够达到兼具基板输送作业更具灵活变化性以及达到精简构件、降低制造成本的较佳产业经济效益。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的组合立体图。

图2为本实用新型较佳实施例的分解立体图。

图3为本实用新型气浮设备的俯视平面图。

图4为本实用新型较佳实施例的侧视平面图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

如图1、图2、图3、图4所示，本实用新型气浮式基板角度定位结构的较佳实施例，此等实施例仅供说明之用，在专利申请上并不受此结构的限制。所述气浮式基板角度定位结构，包括：

一主架体10，包括有着置部11以及气浮板装设端12；

一可旋摆式气浮设备20，组设于该主架体10的气浮板装设端12，包括有气浮板21以及气源供应装置22，该气浮板21具有一基板导入端210，其中该气浮设备20通过一角度调整装置30构成该气浮板21具有倾斜角度变化性；

至少一第一承靠限位构件41及第二承靠限位构件42，分设于该气浮板21上欲供基板05限位的X、Y轴相临二侧向固定位置处，用以当该基板05限位时，使基板05的相临二侧边能够抵靠于该第一、第二承靠限位构件41、42，构成该基板05呈一角度漂浮状态。

其中，该气浮板21具有一镂空部位211，该镂空部位211对应于基板05限位位置处，用以供一叉式撑持构件(此结构图未示)拾取基板05。

其中，该角度调整装置30包含有一连结座31及一底座32，该连结座31连结于该主架体10着置部11，该底座32通过固定组件33(如螺拴)锁固于连结座31下方间隔处，且该连结座31各边角内缩位置穿设有螺杆34，该螺杆34端部能够抵迫于该连结座31表面，以此，通过调整螺杆34高度构成该气浮设备20能够随着该主架体10呈角度倾斜状态。