[实用新型]石英坩埚烘干炉有效
申请号: | 201120215714.6 | 申请日: | 2011-06-24 |
公开(公告)号: | CN202126154U | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 侯建;王震 | 申请(专利权)人: | 锦州佑鑫电子材料有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B23/04 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121000 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 坩埚 烘干 | ||
1.一种石英坩埚烘干炉,其特征是:它有一个箱体,在箱体前面依次设有多个炉门,在箱体内的两个侧面、后面和底面分别间隔设有挂件,在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管,在箱体内设有多层支撑托架,在箱体一侧设有电控箱。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚烘干炉,其特征是:所述的支撑托架是由多根方管均布排列而成,在箱体两侧内壁对应方管的两端分别焊接有方管托架,所述的方管两端分别插入对应的方管托架内。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚烘干炉,其特征是:在箱体壁和炉门壁内分别设有保温棉。
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