[实用新型]石英坩埚烘干炉有效

专利信息
申请号: 201120215714.6 申请日: 2011-06-24
公开(公告)号: CN202126154U 公开(公告)日: 2012-01-25
发明(设计)人: 侯建;王震 申请(专利权)人: 锦州佑鑫电子材料有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B23/04
代理公司: 锦州辽西专利事务所 21225 代理人: 李辉
地址: 121000 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 石英 坩埚 烘干
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种石英坩埚烘干炉。

背景技术

目前,石英坩埚在清洗后为提高效率和质量都需要烘干。国内大多数采用是转盘式圆烘干炉。这种烘干炉存在以下问题:由于只有底部有石英加热管,因此坩埚温升慢,工作效率低;由于烘干时坩埚需放置到转盘上随转盘转动,因此坩埚容易碰撞烘干炉内壁造成坩埚崩口,从而影响产品质量。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种温升快,工作效率高,对产品质量无影响的石英坩埚烘干炉。

本实用新型是这样实现的:它有一个箱体,在箱体前面依次设有多个炉门,在箱体内的两个侧面、后面和底面分别间隔设有挂件,在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管,在箱体内设有多层支撑托架,在箱体一侧设有电控箱。

上述的石英坩埚烘干炉,所述的支撑托架是由多根方管均布排列而成,在箱体两侧内壁对应方管的两端分别焊接有方管托架,所述的方管两端分别插入对应的方管托架内。

上述的石英坩埚烘干炉,在箱体壁和炉门壁内分别设有保温棉,以提高保温效果。

本实用新型的优点是:由于在箱体内的两侧、后部和底部分别通过挂件挂设有石英加热管,因此加热速度快,坩埚温升快,工作效率高;烘干时坩埚放置到支撑托架上固定不动,因此对坩埚产品质量无影响。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是图1的A-A剖视图。

图中:箱体1,炉门2,挂件3,石英加热管4,支撑托架5,方管501,排风嘴6,电控箱7,保温棉8,方管托架9,支撑方管10。

具体实施方式

如图所示,该石英坩埚烘干炉有一个箱体1,在箱体1顶部设有与箱体1内腔相通的排风嘴6,在箱体1前面通过合页依次安装有多个炉门2,炉门2的数量根据箱体1的长度确定,本实施例以三个炉门2为例,在箱体壁和炉门壁内分别设有保温棉8,以提高保温效果。在箱体1内的两个侧面和底面通过铆钉分别间隔固定有二个挂件3,在箱体1内的后面通过铆钉间隔固定有三个挂件3,所述的挂件3上均布有多个卡槽。在箱体1内的两侧、后部和底部分别通过挂件3挂设有石英加热管4,石英加热管4卡在挂件3的卡槽内。在箱体1内设有多层支撑托架5,本实施例以三层支撑托架为例,每层支撑托架5是由多根方管501均布排列而成,在箱体1两侧内壁对应方管501的两端分别焊接有槽钢型的方管托架9,所述的方管501两端分别插入对应的方管托架9内。在箱体1内的前后板面之间对应每层支撑托架5的中部分别焊接有二根支撑方管10,所述的支撑托架5中部落在支撑方管10上。在箱体1一侧设有用于控制石英加热管4温度的电控箱7,石英加热管4分别通过阻燃电缆与电控箱7电联接。

使用时打开炉门2,将石英坩埚依次放在支撑托架5上,通过电控箱7控制石英加热管4通电,待达到要求的温度后再调到恒温,便可连续进行烘干作业。

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