[实用新型]一种多晶硅铸锭炉石墨加热器

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，所述的石墨加热器（8）通过螺栓（2）固定在石墨连接板上，其特征在于：在所述螺栓（2）的底部设置绝缘套（4）。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其特征在于：所述的绝缘套（4）底端低于石墨连接板上石墨加热器（8）、螺栓（2）的最低位置。

3.如权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其特征在于：绝缘套（4）通过上螺母（3）和下螺母（7）将其固定在螺栓（2）上，螺栓（2）底端与绝缘套（4）底端的垂直距离在1～15毫米之间。

4.如权利要求2所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其特征在于：所述的绝缘套（4）由底板和环绕底板的侧壁组成，绝缘套（4）的侧壁向下环绕形成开口，用于下螺母（7）的嵌入；绝缘套（4）的底板中间设有孔洞，孔洞用于上螺母（3）和下螺母（7）与螺栓（2）之间的固定。

5.如权利要求3或4所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其特征在于：所述的上螺母（3）的形状加工成方形或圆形。

6.如权利要求3或4所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其特征在于：所述的下螺母（7）的形状加工成方形或圆形。

7.如权利要求3或4所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其特征在于：所述的绝缘套（4）的形状加工成方形或是圆形。

8.如权利要求7所述的一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其特征在于：所述的绝缘套（4）的材质为耐高温绝缘材质。

9.一种包含权利要求1所述加热器的多晶硅铸锭炉，其中坩埚（5）位于石墨加热器（8）的下方，坩埚（5）的上方通过碳碳盖板（6）盖住，其特在在于：石墨加热器（8）底部与碳碳盖板（6）顶部的距离在25-30mm之间。