[实用新型]一种多晶硅铸锭炉石墨加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉，尤其是一种多晶硅铸锭炉石墨加热器。

背景技术

目前，国内外制备多晶硅锭大多是采用定向凝固方法，该方法是将硅料按一定比例配好置于坩埚中，再将坩埚放入定向凝固炉中加热、熔融、再通过长晶、退火、冷却工序生产得到多晶硅。为了防止石英坩埚上方石墨加热器中的碳杂质或其他杂质掉入石英坩埚内，造成生产的多晶硅锭碳杂质含量及其他杂质含量偏高，同时也为了防止液面蒸发气体腐蚀石墨加热器，现有技术通常是采用盖板将几块护板拼接成的口部盖住；由于石英坩埚装料时，硅原料的堆积高度会高于石英坩埚，所以护板的高度一般会高于石英坩埚的高度。

进口或国产多晶铸锭炉在运行过程中，因坩埚盖板长时间使用或质量问题容易弯曲变形与顶部石墨加热板上的螺栓接触，产生拉弧打火现象，造成两相电流大于400A报警，同时铸锭炉加热元件会受到严重损坏，如：石墨或碳碳螺栓、石墨加热板及碳碳坩埚盖板等出现烧灼，严重时还会出现石墨加热器断裂。设备的安全性会受到很大的影响且设备的相应备件必须更换，弯曲变形的碳碳坩埚盖板也无法再使用而报废处理，其经济损失巨大，目前国内外在多晶硅铸锭生产环节没有一个很好解决该问题的方案。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，用于防止坩埚盖板和螺栓直接接触，造成拉弧打火现象。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，所述的石墨加热器通过螺栓固定在石墨连接板上，其中：在所述螺栓的底部设置绝缘套。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的绝缘套底端低于石墨连接板上石墨加热器、螺栓的最低位置。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：绝缘套通过上螺母和下螺母将其固定在螺栓上，螺栓底端与绝缘套底端的垂直距离在1～15毫米之间。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的绝缘套由底板和环绕底板的侧壁组成，绝缘套的侧壁向下环绕形成开口，用于下螺母的嵌入；绝缘套的底板中间设有孔洞，孔洞用于上螺母和下螺母与螺栓之间的固定。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的上螺母的形状加工成方形或圆形。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的下螺母的形状加工成方形或圆形。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的绝缘套的形状加工成方形或是圆形。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的绝缘套的材质为耐高温绝缘材质。

一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的绝缘套用的绝缘材料可以是氧化铝、氧化锆、氮化硅、氮化硼中的任意一种或是几种的混合。

一种多晶硅铸锭炉，其中坩埚位于石墨加热器的下方，坩埚的上方通过碳碳盖板盖住，其中：石墨加热器底部与碳碳盖板顶部的距离在25-30mm之间。

本实用新型的优点：通过本实用新型提供的绝缘套，可以有效防止因坩埚盖板长时间使用或质量问题造成弯曲变形与顶部石墨加热板上的螺栓接触，产生拉弧打火现象，同时也有效防止铸锭炉加热元件受到严重损坏。通过本技术方案的实施，碳碳坩埚盖板的使用时间相比之前延长了3到6个月，石墨加热器和碳碳螺栓不会因为发生打火而报废，保证了铸锭炉的安全和稳定生产。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

附图标记：石墨电极1、螺栓2、上螺母3、绝缘环4、坩埚5、碳碳盖板6、下螺母7、石墨加热器8。

具体实施方式

实施例1、一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，所述的石墨加热器8通过螺栓2固定在石墨连接板上，其中：在所述螺栓2的底部设置绝缘套4。

实施例2、一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：所述的绝缘套4底端低于石墨连接板上石墨加热器8、螺栓2的最低位置。其余同实施例1。

实施例3、一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：绝缘套4通过上螺母3和下螺母7将其固定在螺栓2上，螺栓2底端与绝缘套4底端的垂直距离为1毫米。其余同实施例1。

实施例4、一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：绝缘套4通过上螺母3和下螺母7将其固定在螺栓2上，螺栓2底端与绝缘套4底端的垂直距离为5毫米。其余同实施例1。

实施例5、一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：绝缘套4通过上螺母3和下螺母7将其固定在螺栓2上，螺栓2底端与绝缘套4底端的垂直距离为10毫米。其余同实施例1。

实施例6、一种多晶硅铸锭炉石墨加热器，其中：绝缘套4通过上螺母3和下螺母7将其固定在螺栓2上，螺栓2底端与绝缘套4底端的垂直距离为15毫米。其余同实施例1。