[实用新型]RF MEMS 开关

权利要求书

1.一种RF MEMS开关，其特征在于，所述RF MEMS开关包括：

主体，其一侧开设有插孔；

固定端子；及

可动端子，与所述固定端子一起微组装于所述主体内，所述可动端子位于所述插孔下方，且与所述固定端子相互搭接连接在一起，形成开关的接通状态。

2.如权利要求1所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述可动端子在外部机械力的作用下可发生弹性形变，使常闭的所述固定端子与所述可动端子分离，形成开关的断开状态。

3.如权利要求1或2所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述主体由绝缘的硅片晶圆形成。

4.如权利要求1或2所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述主体由表面具有金属导电层的绝缘本体形成。

5.如权利要求4所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述可动端子包括弯折部、从所述弯折部一端延伸的横梁部及固定于所述横梁部自由端的导电触头，所述弯折部在外力作用可发生弹性形变，使所述导电触头与所述固定端子分离。

6.如权利要求4所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述固定端子包括固定于所述主体内的固定部及从所述固定部一侧基本垂直延伸的勾部。

7.如权利要求1所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述固定端子由高阻硅材料制成，且其表面涂覆有金属导电物质。

8.如权利要求1所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述可动端子由高阻硅材料制成，且其表面涂覆有金属导电物质。

9.如权利要求7或8所述的RF MEMS开关，其特征在于，所述金属导电物质为金。