[实用新型]加热器定位调整装置有效

专利信息
申请号: 201120233208.X 申请日: 2011-07-04
公开(公告)号: CN202144514U 公开(公告)日: 2012-02-15
发明(设计)人: 许亮 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: C23C16/46 分类号: C23C16/46
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 加热器 定位 调整 装置
【权利要求书】:

1.一种加热器定位调整装置,用于调整位于腔体内的加热器的位置,所述腔体上设有腔体盖,所述加热器包括水平设置的加热盘和竖直设置的支撑杆,所述支撑杆的上端固定连接于所述加热盘的底部中心处,所述支撑杆的下端穿越所述腔体的底板并形成向下的延伸段,其特征在于,所述加热器定位调整装置包括对准机构和调整定位机构;所述对准机构包括观察镜和顶部中心处设有中心标记的加热器盖,所述观察镜设置在所述腔体盖的中心通孔处,所述观察镜的中心部位设有对准标记;所述调整定位机构设置在所述延伸段的外周。

2.根据权利要求1所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述观察镜包括镜架和镜片,所述镜片安装在所述镜架内,所述对准标记设置于所述镜片的中心部位。

3.根据权利要求1所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述观察镜包括镜架、上镜片和下镜片,所述上镜片和下镜片分别设置在所述镜架的上、下两端,且所述对准标记设置于所述下镜片的中心部位。

4.根据权利要求3所述的加热器定位调整装置,其特征在于,还包括放大镜片,所述放大镜片设置在所述镜架内,且所述放大镜片位于所述上镜片和下镜片之间。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述调整定位机构是螺钉调整定位机构。

6.根据权利要求5所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述螺钉调整定位机构包括支撑套管和若干螺钉,所述支撑套管的上端与所述腔体的底板固定连接,所述延伸段穿设于所述支撑套管内,所述支撑套管沿周向均设若干通孔,所述若干螺钉对应设置在所述若干通孔内。

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