[实用新型]加热器定位调整装置有效
申请号: | 201120233208.X | 申请日: | 2011-07-04 |
公开(公告)号: | CN202144514U | 公开(公告)日: | 2012-02-15 |
发明(设计)人: | 许亮 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 定位 调整 装置 | ||
1.一种加热器定位调整装置,用于调整位于腔体内的加热器的位置,所述腔体上设有腔体盖,所述加热器包括水平设置的加热盘和竖直设置的支撑杆,所述支撑杆的上端固定连接于所述加热盘的底部中心处,所述支撑杆的下端穿越所述腔体的底板并形成向下的延伸段,其特征在于,所述加热器定位调整装置包括对准机构和调整定位机构;所述对准机构包括观察镜和顶部中心处设有中心标记的加热器盖,所述观察镜设置在所述腔体盖的中心通孔处,所述观察镜的中心部位设有对准标记;所述调整定位机构设置在所述延伸段的外周。
2.根据权利要求1所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述观察镜包括镜架和镜片,所述镜片安装在所述镜架内,所述对准标记设置于所述镜片的中心部位。
3.根据权利要求1所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述观察镜包括镜架、上镜片和下镜片,所述上镜片和下镜片分别设置在所述镜架的上、下两端,且所述对准标记设置于所述下镜片的中心部位。
4.根据权利要求3所述的加热器定位调整装置,其特征在于,还包括放大镜片,所述放大镜片设置在所述镜架内,且所述放大镜片位于所述上镜片和下镜片之间。
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述调整定位机构是螺钉调整定位机构。
6.根据权利要求5所述的加热器定位调整装置,其特征在于,所述螺钉调整定位机构包括支撑套管和若干螺钉,所述支撑套管的上端与所述腔体的底板固定连接,所述延伸段穿设于所述支撑套管内,所述支撑套管沿周向均设若干通孔,所述若干螺钉对应设置在所述若干通孔内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120233208.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的