[实用新型]加热器定位调整装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加热器定位调整装置。

背景技术

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，简称CVD)是一种用来产生纯度高、性能好的固态材料的化学技术。半导体产业使用此技术在晶圆(基底)上形成薄膜。典型的CVD制程是将晶圆暴露在一种或多种不同的反应气体下，通过反应气体的原子、分子间化学反应，使得反应气体中的某些成分分解，而在基体上形成薄膜。

如图1所示，现有进行CVD制程的工艺腔包括加热器110、腔体120和腔体盖130，所述腔体盖130设置在所述腔体120的上方，所述腔体盖130和所述腔体120组成一个密封的工艺腔。所述加热器110包括水平设置的加热盘111和竖直设置的支撑杆112，所述支撑杆112的上端固定连接于所述加热盘111的底部中心处，所述支撑杆112的下端穿越所述腔体120的底板121并形成向下的延伸段。所述支撑杆112的下部即延伸段通过螺钉140固定。在使用过程中，加热器110需要定期从工艺腔中取出进行维护，并且加热器110损坏后也需要进行更换。但每次安装后，加热器110的加热盘111的中心经常和腔体120的中心发生偏离，使得固定于腔体内的喷嘴(未图示)和加热盘111的位置关系发生偏移，以致喷嘴不能均匀地将反应气体喷到位于加热盘111上，造成加热盘上的晶圆形成的薄膜厚度不均匀，影响产品良率。

因此，如何提供一种可以实现对加热器的中心和腔体中心进行校准定位的加热器定位调整装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加热器定位调整装置，可以通过加热器盖上的中心标记和设置于腔体盖中心处的观察镜的对准标记进行校准，实现对加热器的位置进行调整，使得加热器始终安装在腔体的中心部位，保证工艺稳定性。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

这种加热器定位调整装置，用于调整位于腔体内的加热器的位置，所述腔体上设有腔体盖，所述加热器包括水平设置的加热盘和竖直设置的支撑杆，所述支撑杆的上端固定连接于所述加热盘的底部中心处，所述支撑杆的下端穿越所述腔体的底板并形成向下的延伸段，所述加热器定位调整装置包括对准机构和调整定位机构，所述对准机构包括观察镜和顶部中心处设有中心标记的加热器盖，所述观察镜设置在所述腔体盖的中心通孔处，所述观察镜的中心部位设有对准标记；所述调整定位机构设置在所述延伸段的外周。

较佳的，在上述的加热器定位调整装置中，所述观察镜包括镜架和镜片，所述镜片安装在所述镜架内，所述对准标记设置于所述镜片的中心部位。

较佳的，在上述的加热器定位调整装置中，所述观察镜包括镜架、上镜片和下镜片，所述上镜片和下镜片分别设置在所述镜架的上、下两端，且所述对准标记设置于所述下镜片的中心部位。

较佳的，在上述的加热器定位调整装置中，还包括放大镜片，所述放大镜片设置在所述镜架内，且所述放大镜片位于所述上镜片和下镜片之间。

较佳的，在上述的加热器定位调整装置中，所述调整定位机构是螺钉调整定位机构。

较佳的，在上述的加热器定位调整装置中，所述螺钉调整定位机构包括支撑套管和若干螺钉，所述支撑套管的上端与所述腔体的底板固定连接，所述延伸段穿设于所述支撑套管内，所述支撑套管沿周向均设若干通孔，所述若干螺钉对应设置在所述若干通孔内。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型加热器定位调整装置，通过在加热器上增设加热器盖，且所述加热器盖的顶部中心部位设有中心标记，并且通过在腔体盖的中心通孔处设置观察镜，所述观察镜的中心设有对准标记，使得操作人员在加热器的安装定位过程中，可以一边观察加热器盖上的中心标记是否和观察镜中的对准标记中心(相当于腔体的中心)重合，一边可以通过调整定位机构对加热器的支撑杆的位置进行调解，直至两个标记的中心重合后通过调整定位机构对加热器的支撑杆的位置进行固定，从而对加热器的固定，如此使得，每次安装后的加热器的中心位置始终和腔体盖的中心位置重合，确保每次工艺条件稳定性，可以提高晶圆表面沉积的薄膜的均匀性，进而提高产品良率。

另外，本实用新型通过在观察镜中增设放大镜片，可以放大对准标记和中心标记的影响，以便于操作人员观察，从而可以提高对准精度和对准效率。

附图说明

本实用新型的加热器定位调整装置由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的工艺腔的结构示意图；