[实用新型]带表面活化的连续真空溅镀装置有效
| 申请号： | 201120246094.2 | 申请日： | 2011-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202181343U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 戴明光 | 申请（专利权）人： | 戴明光;苏州爱迪尔镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215101 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 活化 连续 真空 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种带表面活化的连续真空溅镀装置，它包括用于表面改质处理的第一真空室以及设于第一真空室后端的若干真空溅镀室，其特征在于，所述的第一真空室前端设有真空活化室，所述的真空活化室内设有阴极电弧源。
2.根据权利要求1所述的带表面活化的连续真空溅镀装置，其特征在于，所述的真空活化室内设有水冷降温装置，用于对阴极电弧源进行冷却。
3.根据权利要求1所述的带表面活化的连续真空溅镀装置，其特征在于，所述的真空活化室、第一真空室与真空溅镀室中设有工件传输系统。
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