[实用新型]一种湿度检测装置

权利要求书

1.一种湿度检测装置，其特征在于，包括：传动单元、湿度感应单元、信号处理单元；

所述传动单元，用于控制所述湿度感应单元与基板接触；

所述湿度感应单元，用于当与所述基板接触时，检测所述基板的湿度，当所述基板的湿度高于预设湿度时，根据所述基板的湿度生成湿度信号，并将所述湿度信号发送给所述信号处理单元；

所述信号处理单元，用于根据来自所述湿度感应单元的湿度信号生成湿度提示信号，以提示所述基板的湿度情况。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述湿度感应单元包括上电极和下电极，其中，所述上电极包括感湿膜；

当所述基板被传送到湿度检测位置时，所述传动单元控制所述湿度感应单元的上电极和下电极分离，并使所述上电极与所述基板接触。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述上电极还包括：硅片和覆盖在所述硅片上的二氧化硅层，所述感湿膜覆盖在所述二氧化硅层上；所述下电极包括金属铝层。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述湿度感应单元包括探测头，所述探测头包括高分子聚合物的湿敏材料。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述传动单元控制所述探测头在与所述基板的运动路径垂直的方向上移动，以将所述探测头与所述基板接触。

6.根据权利要求4或5所述的装置，其特征在于，所述传动单元控制所述探测头与所述基板的无图案区域接触。

7.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述信号处理单元包括：

控制模块，用于当所述基板被传送而与所述上电极分离，所述传动单元控制所述湿度感应单元的上电极和下电极接触时，将来自所述湿度感应单元的湿度信号转换为电信号，并对所述电信号进行滤波；

提示模块，用于根据滤波后的电信号生成湿度提示信号。

8.根据权利要求4或5所述的装置，其特征在于，所述信号处理单元包括：

控制模块，用于将来自所述湿度感应单元的湿度信号转换为电信号，并对所述电信号进行滤波；

提示模块，用于根据滤波后的电信号生成湿度提示信号。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述提示模块包括报警器；或者所述提示模块包括所述基板的生产线内具有提示功能的自动化控制终端。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述提示模块包括报警器；或者所述提示模块包括所述基板的生产线内具有提示功能的自动化控制终端。