[实用新型]双面卷对卷真空镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜设备，特别是涉及一种能在一基材的两相反面镀膜的双面卷对卷真空镀膜设备。

背景技术

已知应用于电子设备的塑料基材，例如以触控面板的基材为例，该基材的正反两面分别形成有功能性的薄膜。由于该基材具有挠性并且为成卷设置，因此进行基材的表面镀膜时，主要是通过卷对卷(roll-to-roll)工艺来进行，此工艺必需配合滚轮带动传输基材，并且在完成该基材的其中一表面的镀膜之后，必需将该基材从真空腔体中取出，再使基材反面卷绕后，同样使用卷对卷工艺来对该基材的另一表面镀膜。

受限于已知的卷对卷真空镀膜设备只能进行单面镀膜，而且卷对卷工艺是使用于软性的成卷基材上，因此无法像一般硬式的片状基材，可以利用夹具翻转而进行双面镀膜，所以目前的卷对卷镀膜工艺一定要先破真空将基材取出，才能再进行另一表面的镀膜。当基材自真空腔体取出后，其表面容易受到大气环境污染，影响后续的镀膜质量，同时此过程也导致镀膜时间较长、使产能降低。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种具有良好镀膜质量，能节省镀膜时间、提高产能的双面卷对卷真空镀膜设备。本实用新型双面卷对卷真空镀膜设备，适用于在一个成卷的基材的相反的一个第一面与一个第二面上镀膜，并包含：一个用于卷放该基材的放料装置，以及一个位于该放料装置的下游的第一镀膜装置，其中：该第一镀膜装置包括一个输送来自于该放料装置的基材的第一滚轮单元、一个用于干燥该基材的加热器、一个位于该加热器的下游并清洁该基材的第一面的第一清洁机构，以及一个位于该第一清洁机构的下游并在该基材的第一面镀膜的第一镀膜机构；该第一滚轮单元包括一个与该基材的第二面贴合并使该基材的第一面露出的第一转轮。该双面卷对卷真空镀膜设备还包含一个位于该第一镀膜装置的下游的第二镀膜装置，以及一个位于该第二镀膜装置的下游并用于卷收该基材的收料装置；该第二镀膜装置包括一个输送来自于该第一镀膜装置的基材的第二滚轮单元、一个清洁该基材的第二面的第二清洁机构，以及一个位于该第二清洁机构下游并在该基材的第二面镀膜的第二镀膜机构；该第二滚轮单元包括一个与该基材的第一面贴合并使该基材的第二面露出的第二转轮。

本实用新型所述的双面卷对卷真空镀膜设备，该第一镀膜装置及该第二镀膜装置为上下设置。

本实用新型所述的双面卷对卷真空镀膜设备，该第一镀膜装置还包括一个位于所述第一镀膜机构的下游的第一电性测量仪，该第二镀膜装置还包括一个位于所述第二镀膜机构的下游的第二电性测量仪。

本实用新型所述的双面卷对卷真空镀膜设备，该第二镀膜装置还包括一个位于所述第二镀膜机构的下游的光学检测仪。

本实用新型所述的双面卷对卷真空镀膜设备，该第一滚轮单元还包括数个间隔的第一张力轮，所述第一张力轮分别位于该放料装置与该加热器之间、该加热器与该第一转轮之间，以及该第一转轮与该第二镀膜装置之间；该第二滚轮单元还包括数个间隔的第二张力轮，所述第二张力轮分别位于该第一镀膜装置与该第二转轮之间，以及该第二转轮与该收料装置之间。

本实用新型所述的双面卷对卷真空镀膜设备，该加热器为一个红外线加热器。

本实用新型所述的双面卷对卷真空镀膜设备，该第一镀膜装置还包括数个分别位于该第一清洁机构及该第一镀膜机构周围的第一隔板，该第二镀膜装置还包括数个分别位于该第二清洁机构及该第二镀膜机构周围的第二隔板。

本实用新型所述的双面卷对卷真空镀膜设备，该第一清洁机构及该第二清洁机构皆为一个能产生等离子体的等离子体系统。

本实用新型的有益效果在于：借助该第一镀膜装置及该第二镀膜装置的配合，能一次且连续地完成该基材的第一面及第二面的双面镀膜作业，使基材无需另外再从真空腔体中取出，因此能避免基材受到大气环境污染，使镀着的薄膜具有良好质量，并且节省镀膜时间，提高产能。

附图说明

图1是一个成卷的基材的示意图；

图2是显示本实用新型双面卷对卷真空镀膜设备的一较佳实施例的主视图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。