[实用新型]一种全自动三次光检机的光检装置有效
申请号: | 201120263741.0 | 申请日: | 2011-07-22 |
公开(公告)号: | CN202189022U | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 林宜龙;陈薇;戚长政;唐召来;黄水清;林清岚;王能翔 | 申请(专利权)人: | 格兰达技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89;H01L21/66 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 齐永红;常春 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区龙华大浪同富*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 三次 光检机 装置 | ||
1.一种全自动三次光检机的光检装置,其特征在于:包括:
性能和作用基本相同的两个相机(602)和两个同轴光发生器(601)分别自上至下安装在各自的竖直安装板(603)上;竖直安装板(603)通过横向安装板(604)和连接板(605)与光照系统安装板(606)固联;
光照系统安装板(606)与和X方向导轨(607)由滑动配合的X方向滚轴丝杠传动螺母(610)固联,位置感应片(609)与光照系统安装板(606)固联,与位置感应片(609)对应的两个感应器(608)分别安装在X方向导轨(607)上,且位于位置感应片(609)的左、右两侧;
光照系统安装板(606)与Y方向滚轴丝杠传动件(613)固联,而Y方向滚轴丝杠传动件(613)通过同步带传送装置(618)和Y方向传动伺服电机(614)耦接;Y方向传动件安装架(616)固装在轴承座(615)上方,Y方向滚轴丝杠传动件(613)安装在安装架(616)中。
2.根据权利要求1所述的全自动三次光检机的光检装置,其特征在于:竖直安装板(603)上开有用来调整相机(602)和同轴光发生器(601)的高度距离的长孔槽;两个相机(602)和两个同轴光发生器(601)之间的距离,根据料条上芯片规格要求,由与其中一个竖直安装板(603)耦合的相机间距调整直线电机(617)进行调整。
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