[实用新型]一种全自动三次光检机的光检装置有效

专利信息
申请号: 201120263741.0 申请日: 2011-07-22
公开(公告)号: CN202189022U 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 林宜龙;陈薇;戚长政;唐召来;黄水清;林清岚;王能翔 申请(专利权)人: 格兰达技术(深圳)有限公司
主分类号: G01N21/89 分类号: G01N21/89;H01L21/66
代理公司: 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 代理人: 齐永红;常春
地址: 518000 广东省深圳市宝安区龙华大浪同富*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 全自动 三次 光检机 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及全自动三次光检机的光检装置,更准确地说,涉及用由高清晰工业相机、光照系统和跟踪移动机构组成的装置,对停放在料条输送导轨上的料条的各个芯片的金线状态一一抓拍,为检测系统提供实拍信息的一种全自动三次光检机的光检装置。

背景技术

对芯片上金线的检测是芯片生产过程中的第三次检测,与第三次检测有关的机器设备称为三次光检机。对料条上芯片的金线检测的主要内容是:金线弯曲检测;金线漏线检测;杂质检测;多余金线检测;短路检测;断路检测等六种内容,目前,完成金线这些内容的检测,主要靠人眼观察检测和人工与显微镜结合的检测。这种检测方法,不仅劳动强度大,工作效率低,检测的质量也因人而异,难于保证产品的检测质量。

也有人曾试图用相机获取芯片金线实况信息与计算机控制的标准金线模板相对比的方法实现金线的自动检测,但苦于没有找到一种能让相机清楚、准确获取金线各种缺陷的光照系统和跟踪方法,检测的效率和质量与人工检测没有明显的优势。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述金线检测的难题,提供一种能使相机清楚、准确获取金线各种缺陷的光照系统和跟踪抓拍机构,并由此获得一种全自动三次光检机的光检装置。

为实现上述目的,本实用新型提供了一种全自动三次光检机的光检装置,该装置包括:性能和作用基本相同的两个相机和两个同轴光发生器分别自上至下安装在各自的竖直安装板上;竖直安装板通过横向安装板和连接板与光照系统安装板固联;

光照系统安装板与和X方向导轨由滑动配合的X方向滚轴丝杠传动螺母固联,位置感应片与光照系统安装板固联,与位置感应片对应的两个感应器分别安装在X方向导轨上,且位于位置感应片的左、右两侧;

光照系统安装板与Y方向滚轴丝杠传动件固联,而Y方向滚轴丝杠传动件通过同步带传送装置和Y方向传动伺服电机耦接;Y方向传动件安装架固装在轴承座上方,Y方向滚轴丝杠传动件安装在安装架中。

优选的是,所述的全自动三次光检机的光检装置,其特征在于:竖直安装板上开有用来调整相机和同轴光发生器的高度距离的长孔槽;两个相机和两个同轴光发生器之间的距离,根据料条上芯片规格要求,由与其中一个竖直安装板耦合的相机间距调整直线电机进行调整。

本实用新型的有益效果在于,高倍工业相机、光照系统安装在与跟踪移动机构有连接关系的竖直安装板上,可随跟踪移动机构指令移动到需要抓拍芯片的位置。

跟踪移动机构由可使竖直安装板沿两个垂直方向移动的滚轴丝杠传动机构组成,即可使竖直安装板带动相机和同轴光系统部分沿料条的长度和宽度两个方向移动,以便对料条上的每一块芯片进行抓拍。

附图说明

图1为本实用新型的全自动三次光检机的光检装置的立体总图

图2为本实用新型的全自动三次光检机的光检装置的局部爆炸图

图3为相机和两个同轴光发生器的安装示意图。

其中

601-同轴光发生器  602-高倍工业相机  603-竖直安装板  604-横向安装板605-连接板  606-光照系统安装板  607-X方向导轨  608-位置感应器  609-位置感应片  610-X方向滚轴丝杠传动件  611-加强支撑板  612-X方向传动伺服电机613-Y方向滚轴丝杠传动件  614-Y方向传动伺服电机  615-支承座  616-Y方向传动件安装架  617-相机间距调整直线电机  618-同步带传送装置

具体实施方式

依照本实用新型的一种具体实施方式的全自动三次光检机的光检装置如图1、2所示,主要包括光照系统和跟踪移动机构,其中,光照系统由同轴光发生器601,高倍工业相机602,竖直安装板603,横向安装板604,连接板605,光照系统安装板606和相机间距调整直线电机617;跟踪移动机构由X方向导轨607,位置感应器608,位置感应片609,X方向滚轴丝杠传动件610,加强支撑板611,X方向传动伺服电机612,Y方向滚轴丝杠传动件613,Y方向传动伺服电机614,支承座615,Y方向传动件安装架616,同步带传送装置618组成。

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