[实用新型]一种半导体组件压装装置有效
申请号: | 201120264238.7 | 申请日: | 2011-07-25 |
公开(公告)号: | CN202178240U | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 熊辉;田媛;颜骥;孙文伟;郭金童;任亚东;熊思宇 | 申请(专利权)人: | 株洲南车时代电气股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人: | 赵洪 |
地址: | 412001 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 组件 装置 | ||
1.一种半导体组件压装装置,其特征在于,包括压装外框、绝缘件和施压装置,所述绝缘件设于半导体组件与压装外框之间,施压装置穿设于压装外框上;
所述施压装置包括导柱、碟簧、调节螺栓和卡环;所述导柱穿设于压装外框上并可相对压装外框往复运动;调节螺栓穿设于导柱内,与半导体组件相连;
碟簧位于压装外框内,且套设于导柱上,限位于导柱与压装外框之间;卡环位于压装外框外,且活动卡接于导柱上,限位于导柱与压装外框之间。
2.根据权利要求1所述的半导体组件压装装置,其特征在于,所述压装外框包括第一压板、第二压板以及用于固定连接第一压板和第二压板的固定螺栓;施压装置穿设于第二压板上。
3.根据权利要求2所述的半导体组件压装装置,其特征在于,所述固定螺栓的两端部均设有平台。
4.根据权利要求3所述的半导体组件压装装置,其特征在于,平台上套设有螺母。
5.根据权利要求2所述的半导体组件压装装置,其特征在于,导柱包括一体结构的第一段和第二段,第一段的外径较第二段的外径大;第一段的端部设有第一限位端,第二段的端部设有第二限位端;第一段穿设于第二压板上,第二段位于压装外框外。
6.根据权利要求5所述的半导体组件压装装置,其特征在于,导柱的第一段外表面为非圆形,第二压板上设有与导柱第一段匹配的非圆形孔。
7.根据权利要求5所述的半导体组件压装装置,其特征在于,碟簧套设于导柱的第一段上,且位于第一限位端与第二压板之间;卡环活动卡接于导柱的第二段上,且位于第二压板与第二限位端之间。
8.根据权利要求2所述的半导体组件压装装置,其特征在于,所述绝缘件为两个,其中第一绝缘件位于第一压板与半导体组件之间,第二绝缘件位于半导体组件与施压装置之间。
9.根据权利要求8所述的半导体组件压装装置,其特征在于,绝缘件为碗状;第一绝缘件的碗状边缘朝向第一压板且与第一压板固定连接,碗状底部与半导体组件固定连接;第二绝缘件的碗状边沿朝向第二压板,碗状底部与半导体组件固定连接,调节螺栓与第二绝缘件的碗状底部相连。
10.根据权利要求1所述的半导体组件压装装置,其特征在于,导柱沿轴向上设有通孔,通孔内表面设有螺纹,调节螺栓通过该螺纹穿设于导柱上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造