[实用新型]湿法刻蚀设备

权利要求书

1.一种湿法刻蚀设备，包括盛放刻蚀药液的刻蚀罐及固定在所述刻蚀罐内的加热装置，其特征在于，所述加热装置为内部具有热介质流通通道的耐腐蚀盘管，所述耐腐蚀盘管的两端穿过所述刻蚀罐上的穿孔延伸至所述刻蚀罐外。

2.根据权利要求1所述的湿法刻蚀设备，其特征在于，在所述穿孔处，所述耐腐蚀盘管通过法兰固定在所述刻蚀罐上。

3.根据权利要求1或2所述的湿法刻蚀设备，其特征在于，还包括热介质供给装置，所述热介质供给装置的输出端与所述耐腐蚀盘管的一端连接。

4.根据权利要求3所述的湿法刻蚀设备，其特征在于，还包括温度控制装置，所述温度控制装置包括温度检测模块及控制信号输出模块，所述温度检测模块位于所述刻蚀罐内部，以检测所述刻蚀药液的温度，所述控制信号输出模块与所述热介质供给装置连接，以控制所述热介质供给装置的热介质供给量。

5.根据权利要求4所述的湿法刻蚀设备，其特征在于，所述热介质供给装置所供给的热介质为热空气，所述热介质供给装置包括：通过管道依次与所述耐腐蚀盘管的一端串联的控制阀、引风机及电加热器，所述控制阀的控制端与所述温度控制装置的控制输出端连接。

6.根据权利要求5所述的湿法刻蚀设备，其特征在于，所述热介质供给装置还包括连接在所述管道上的气压表及温度表。

7.根据权利要求5所述的湿法刻蚀设备，其特征在于，所述热介质供给装置还包括制冷单元，所述制冷单元连接在所述引风机与所述电加热器之间的三通阀上。