[实用新型]用于真空镀膜的嵌入式反应腔

权利要求书

1.一种嵌入式反应腔，包括中间段(2)及设于中间段(2)两端的第一、第二端盖(1、4)，所述中间段(2)内设电极盒(3)，所述第一、第二端盖(1、4)分别与中间段(2)密闭连接，其特征是：所述反应腔还设有两个热循环系统，分别为与反应腔外连接的第一热循环系统和设在反应腔外腔体上的第二热循环系统，所述第一、第二热循环系统共同对所述反应腔加热，当第一热循环系统停止加热时，第二热循环系统继续加热。

2.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述第一热循环系统包括设于第一端盖(1)上的进风口(11)和出风口(12)，所述进风口(11)与所述反应腔外部的热风机连接，热风由进风口(11)进入反应腔腔体，并从出风口(12)排出，形成热循环；所述进风口(11)和出风口(12)上均设密闭装置。

3.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述第二热循环系统包括覆盖于第一端盖(1)、中间段(2)、第二端盖(4)上的电热丝(7)，和包裹在所述电热丝(7)外的石棉布，所述第二热循环系统外还包裹一层外壳。

4.根据权利要求3所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述反应腔的形状为圆筒状，布置在中间段(2)的电热丝(7)沿圆筒轴线向设置；布置在第一、第二端盖(1、4)上的电热丝(7)从端盖中心出发，沿径向设置。

5.根据权利要求3所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述外壳为不锈钢板外壳。

6.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述反应腔底部设导轨(5)，中间段(2)固定于导轨(5)上，第一、第二端盖(1、4)沿导轨(5)与中间段(2)可开合连接。

7.根据权利要求1所述的嵌入式反应腔，其特征是：所述反应腔为不锈钢腔体。