[实用新型]用于真空镀膜的嵌入式反应腔有效
申请号: | 201120270198.7 | 申请日: | 2011-07-28 |
公开(公告)号: | CN202201968U | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 郭锋 | 申请(专利权)人: | 上海曙海太阳能有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 王玮 |
地址: | 201300 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 真空镀膜 嵌入式 反应 | ||
技术领域
本实用新型涉及电子设备和太阳能电池技术,尤其涉及一种用于真空镀膜机内的嵌入式反应腔。
背景技术
非晶硅薄膜太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右,是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300,与单晶硅太阳能电池相比,制备这种薄膜所用硅原料很少,薄膜生长时间较短,设备制造简单,容易大批量连续生产,根据国际上有关专家的估计,非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。
非晶硅材料是由气相淀积形成的,目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(PECVD)法。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
薄膜化学气相沉积设备是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备,该化学气相沉积设备包括真空镀膜机,真空镀膜机设备又包括一真空腔体,腔体内设反应用电极盒,电极盒需在一定的温度下进行反应。现有技术中,这种真空腔体的容量很小,一般加热就能达到腔室的保温要求。但随着产能扩大,腔体容积也跟着增加,腔体内可以放多个电极盒,这些电极盒同时进行反应,这样一来单一的加热方式已不足以满足腔体内部温度均匀的要求。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种高产能大容积强化等离子气相沉积设备的用于真空镀膜的嵌入式反应腔,能够改进多个电极盒温度均匀性,以及在不外加热抽真空状态下能强化保温能力。
本实用新型采用以下技术方案:
一种用于真空镀膜的嵌入式反应腔,包括中间段及设于中间段两端的第一、第二端盖,所述中间段内设电极盒,所述第一、第二端盖分别与中间段密闭连接,所述反应腔还设有两个热循环系统,分别为与反应腔外连接的第一热循环系统和设在反应腔外腔体上的第二热循环系统,所述第一、第二热循环系统共同对所述反应腔加热,当第一热循环系统停止加热时,第二热循环系统继续加热。
进一步地,所述第一热循环系统包括设于第一端盖上的进风口和出风口,所述进风口与所述反应腔外部的热风机连接,热风由进风口进入反应腔腔体,并从出风口排出,形成热循环;所述进风口和出风口上均设密闭装置。
进一步地,所述第二热循环系统包括覆盖于第一端盖、中间段、第二端盖上的电热丝,和包裹在所述电热丝外的石棉布,所述第二热循环系统外还包裹一层外壳。
进一步地,所述反应腔的形状为圆筒状,布置在中间段的电热丝沿圆筒轴线向设置;布置在第一、第二端盖上的电热丝从端盖中心出发,沿径向设置。
进一步地,所述外壳为不锈钢板外壳。
进一步地,所述反应腔底部设导轨,中间段固定于导轨上,第一、第二端盖沿导轨与中间段可开合连接。
进一步地,所述反应腔为不锈钢腔体。
本实用新型涉及的反应腔既可以由外部的第一热循环系统加热,同时腔体自身也可通过第二热循环系统加热。在双重加热下,可保证内部电极盒温度均匀性。由于腔体具有良好密封性,在去除外部加热后的真空状态下,通过反应腔自身加热也可保证内部热量不易散发。
附图说明
图1为为本实用新型涉及的嵌入式反应腔的结构示意图。
图2为本实用新型涉及的嵌入式反应腔中第一端盖的结构示意图。
图3为本实用新型涉及的嵌入式反应腔中第二端盖的结构示意图。
图4为加热丝在第一端盖上的分布图。
图5为本实用新型涉及的嵌入式反应腔与外部加热装置连接的示意图。
具体实施方式
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的