[实用新型]一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构有效
| 申请号： | 201120270370.9 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN202167493U | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 黎重林;王成森 | 申请（专利权）人： | 江苏捷捷微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/74 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢海洋 |
| 地址： | 226200 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 降低 隔离 扩散 横向 宽度 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构，其特征在于：包括抑制横向扩散用环形槽、正面对通隔离扩散区和背面对通隔离扩散区，所述正面对通隔离扩散区内侧设有抑制横向扩散用环形槽，所述抑制横向扩散用环形槽一侧设有环形钝化槽。
2. 根据权利要求1所述的一种降低对通隔离扩散横向扩散宽度的结构，其特征在于：所述背面对通隔离扩散区环宽为120-160um，正面对通隔离扩散区环宽为60-100um，所述抑制横向扩散用环形槽宽度为20-60um，深度为30-40um。
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