[实用新型]一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置

权利要求书

1.一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，其特征在于：包括：内设有空腔的把手（1）、大盖板（2）、至少一个小盖板（3）、上固定板（4）和下固定板（5）；所述把手（1）一端设有一与所述空腔连通的气嘴（6），此把手（1）下表面设有至少一个与所述空腔连通的第一通气孔（7）；所述小盖板（3）上设有第一凹槽（8），此第一凹槽（8）底部与小盖板（3）上表面之间设有与所述第一通气孔（7）相应的第二通气孔（9），此第二通气孔（9）与所述第一通气孔（7）通过气体连接管（10）连通；

大盖板（2）设有第二凹槽（11），此大盖板（2）的上表面与所述小盖板（3）的下表面接触从而由所述第一凹槽（8）形成第一空腔，此第二凹槽（11）底部与大盖板（2）上表面之间设有连通所述第一空腔的第三通气孔（12）；

所述上固定板（4）上表面设有与所述第二凹槽（11）相应的第三凹槽（13）和位于此第三凹槽（13）一侧并位于所述上固定板（4）下表面的限位凸台（14）；此上固定板（4）上表面与所述大盖板（2）下表面接触从而由所述第二凹槽（11）和第三凹槽（13）形成第二空腔；此第三凹槽（13）底部与上固定板（4）下表面之间设有若干个连通所述第二空腔的第四通气孔（15），此第四通气孔内（15）固定地设置有固定气嘴（16），所述限位凸台（14）具有螺丝孔；

所述下固定板设有与所述第四通气孔（15）相应的通孔（17）和螺丝沉头孔（18），一活动气嘴（19）嵌入此通孔（17），此活动气嘴（19）一端用于吸附位于所述石墨舟上半导体晶粒，其另一端与固定气嘴（16）之间通过软管（20）连通；一螺丝旋入所述限位凸台（14）的螺丝孔和螺丝沉头孔（18）内，从而固定所述上固定板（4）和下固定板（5）并形成一定的距离。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述下固定板（5）两端并位于其下表面上分别设有用于定位的定位销钉（21）。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述下固定板（5）的下表面位于所述通孔（17）一侧设有腰型槽（22）。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第三凹槽（13）内设有具有螺丝孔的螺丝孔凸台（23），一螺丝固定连接所述大盖板（2）和上固定板（4）的螺丝孔凸台（23）。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述大盖板（2）和上固定板（4）通过位于其各自两端的螺丝和螺孔固定连接。