[实用新型]自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置

权利要求书

1.一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，包含一废油储槽、一初滤单元、一初储储槽及至少一精滤单元，其特征在于： 

该废油储槽，储置废油泥；

该初滤单元，与该废油储槽连通，利用离心沉降方式将废油泥进行固液分离，滤除废油泥中的固形物，并取得其中的初滤滤液；

该初滤储槽，暂存经该初滤单元所释出的初滤滤液；

该精滤单元，包含一与该初滤储槽导通的精滤槽、一装设在该精滤槽内的精滤膜组、一与该精滤膜组链接的驱动机构，以及一用以盛装经过该精滤模块处理后的再生油的再生油槽。

2.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元包含一与该废油储槽连通的废液进料泵及一离心机以及一滤液排放泵，该离心机具有一机座、一旋转的中空筒体、一安置于该中空筒体内部的离心管、一通道，以及至少一废料出口，该中空筒体与该离心管之间界定出一容置空间该通道是开设于该离心管的管壁上，进而与该容置空间相连通。

3.如权利要求２所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元的离心机还具有一第一马达及一第二马达，该第一马达驱动该中空筒体，该第二马达驱动该离心管。

4.如权利要求３所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该第一马达的转速高于该第二马达的转速。

5.如权利要求３所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该离心机还具有多个设置于该离心管外侧的螺旋叶片。

6.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：精滤单元设置有多组，精滤单元呈串联方式连接。

7.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：还包含有一废液储槽，该废液储槽盛接自该精滤单元的精滤槽内所排出的浓缩废液，并抽引回至该初滤单元内进行再过滤。

8.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：还包含一油质监测单元，该油质监测单元链接于该精滤单元的精滤槽与该再生油槽之间。

9.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：还包含一电控单元，该电控单元控制该处理装置所需的电源。

10.如权利要求１所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元为立式螺旋沉降离心机、卧式螺旋沉降离心机的其中一种。