[实用新型]自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废弃物的处理装置，尤其是指一种可大量连续处理废油泥，以降低回收油成本，且符合环保要求的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置。

背景技术

在制造半导体芯片及太阳能板的产业中，将硅晶棒切割成厚薄均一的硅晶圆（片）已属于标准流程的一环，其通常使用特殊的金属线锯（Wire Saw）为切割刀具，并采用高硬度的碳化硅（SiC）为研磨料，再辅以混有聚乙二醇（PEG）、二乙二醇（DEG）、丙二醇（PG）等矿物油酯为切削、冷却液，借此，当金属线锯高速往复运行时，就可配合碳化硅为介质来提高线锯的切削能力，以对硅芯片形成良好的切割作用，且切割同时，将以聚乙二醇为主成份的切削液对着切割部位喷出，一方面除了作为冷却及润滑用途之外，另一方面尚可将切割时所产生的硅粉及杂质带出切割槽道，使晶圆切割制程能顺利且平稳的进行，以利进行后续制程。

在硅晶圆被切割、研磨的过程中，对切割区所喷出且使用过后的切削液，会挟带着切削时所产生的硅粉碎屑、杂质与被磨耗的碳化硅，不断地被排出切割区外，进而成为粒子浓度与浊度极高的浆状废油泥。以往，国内多数的硅晶圆切割厂商对于这些废油泥，只能以废弃物方式来处理，或是以重油进行焚化后掩埋，但是，仍需要支出高昂的费用请废弃物业者处理，且废油泥如果以焚化方式处理，也会产生大量的二氧化碳，相当不环保。此外，焚烧后也将对焚化炉的炉壁造成严重破坏，因此，对于硅晶圆切割研磨后所产生的废弃物（油泥），以焚化或掩埋均非理想的处理方法。

目前，国外业者已采用过滤设备来回收废油泥中的切削油料，其通常利用薄膜技术来进行固液分离，虽然此方式可获得部份液态再生油（切削液），供硅晶圆生产制造时回收再使用，但此法却也会产生大量的污泥，也只能以掩埋方式处理，且以固液分离方式来进行再生油的回收，其经济效益并不理想，主因在于废油泥进行薄膜过滤时，并没有获得良好的前处理，使得膜孔极易污堵（fouling），造成膜的操作周期降低，另一方面，如果进一步对回收油的质量加以分析，可以得知再生油的回收质量是与膜孔孔径成反比，也就是说，虽然膜的孔径较大，所获得的再生油流通量虽高，但油内所含的硅粒与废料浓度也较高，相对得再生油的油品质量就低，这显然不利于再生油的操作寿命性，无法达成回收再生油的标准。

因此，如何在回收成本与环保之间达成平衡，至今仍没有一个有效率且符合操作成本的处理方式，使得硅晶圆切割业者在环保改善成本负荷上愈来愈高，如何积极提高生产质量及污染防治技术来兼顾经济与环保，降低生产成本，提高产业竞争力，已成为目前相关产业所迫切努力的目标。

有鉴于此，本设计人针对上述处理装置上未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本案。

实用新型内容

本实用新型的目的是在于提供一种可大量连续处理废油泥，以降低回收油成本，且符合环保要求的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，包含一废油储槽、一初滤单元、一初储储槽及至少一精滤单元，该废油储槽，储置废油泥；该初滤单元，与该废油储槽连通，利用离心沉降方式将废油泥进行固液分离，以滤除废油泥中的固形物，并取得其中的初滤滤液；该初滤储槽，暂存经该初滤单元所释出的初滤滤液；该精滤单元，包含一与该初滤储槽导通的精滤槽、一装设在该精滤槽内的精滤膜组、一与该精滤膜组链接的驱动机构，以及一用以盛装经过该精滤模块处理后的再生油的再生油槽。

上述初滤单元包含一与该废油储槽连通的废液进料泵及一离心机以及一滤液排放泵，该离心机具有一机座、一旋转的中空筒体、一安置于该中空筒体内部的离心管、一通道，以及至少一废料出口，该中空筒体与该离心管之间界定出一容置空间该通道是开设于该离心管的管壁上，进而与该容置空间相连通。

上述初滤单元的离心机还具有一第一马达及一第二马达，该第一马达驱动该中空筒体，该第二马达驱动该离心管。

上述第一马达的转速高于该第二马达的转速。

上述离心机还具有多个设置于该离心管外侧的螺旋叶片。

上述精滤单元设置有多组，精滤单元呈串联方式连接。

上述自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置还包含有一废液储槽，该废液储槽盛接自该精滤单元的精滤槽内所排出的浓缩废液，并抽引回至该初滤单元内进行再过滤。

上述自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置还包含一油质监测单元，该油质监测单元链接于该精滤单元的精滤槽与该再生油槽之间。