[实用新型]定向式圆柱磁控溅射靶

权利要求书

1.一种定向式圆柱磁控溅射靶，其特征在于：包括靶材、极靴、三列溅射工作用条形永磁体、一列清靶工作用条形永磁体和两个环形永磁体，其中：

所述的三列溅射工作用条形永磁体沿极靴的周向间隔分布，并沿极靴的轴向嵌入极靴内，所述的三列溅射工作用条形永磁体的极性一致；

所述的两个环形永磁体的中心角均介于90°～150°之间，并均沿极靴的周向嵌入极靴内；

其中两条溅射工作用条形永磁体的两端与所述的两个环形永磁体的两端首尾循环连接起来，构成一个封闭框体；余下的一列溅射工作用条形永磁体位于该封闭框体外，并与形成该封闭框体的两条溅射工作用条形永磁体距离相同的中心角角度；

所述的清靶工作用条形永磁体也沿极靴的轴向嵌入极靴内，并与该余下的一列溅射工作用条形永磁体呈180°对称分布设置，该清靶工作用条形永磁体位于该封闭框体内，并且该清靶工作用条形永磁体的两端均不与所述的两个环形永磁体相接触；

所述的两个环形永磁体与所述的三列溅射工作用条形永磁体的极性相同，所述的清靶工作用条形永磁体与所述的三列溅射工作用条形永磁体的极性相反。

2.根据权利要求1所述的定向式圆柱磁控溅射靶，其特征在于：所述的环形永磁体是中心角为120°的环形永磁体。

3.根据权利要求1所述的定向式圆柱磁控溅射靶，其特征在于：所述的三列溅射工作用条形永磁体以及两个环形永磁体与极靴相连的一端均为N极，该清靶工作用条形永磁体与极靴相连的一端则为S极。

4.根据权利要求1所述的定向式圆柱磁控溅射靶，其特征在于：所述的三列溅射工作用条形永磁体以及两个环形永磁体与极靴相连的一端均为S极，该清靶工作用条形永磁体与极靴相连的一端则为N极。