[实用新型]探针卡检测装置

权利要求书

1.一种探针卡检测装置，其特征在于，它包括：

一机台，该机台上具有一平台，该平台上设有一第一滑台，该第一滑台上设有一第二滑台，该第一滑台与第二滑台在该平台上以二维坐标系统的X轴与Y轴正交平移，在该第二滑台上设有一供受测的探针卡放置的固定座；

一影像撷取单元，该影像撷取单元结合在一第三滑台上，该第三滑台滑动地设在一伫立在该平台上的第一支架上，而令该影像撷取单元在该平台上纵向地滑动；

一控制单元，该控制单元用以控制该第一滑台、第二滑台及该第三滑台在平台上的滑动，且控制该影像撷取单元撷取影像，并该控制单元内建有一量测软件，影像撷取单元撷取探针卡所有接脚位置并以该量测软件判断接脚位置是否正确；

一观测装置，该观测装置在校正探针卡的错位接脚时观测，该观测装置包括一移动结构及一显微镜观测单元，该移动结构架设在一伫立于该平台上的第二支架上，且该显微镜观测单元随该移动结构在该平台上以二维坐标系统的X轴与Y轴正交平移。

2.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述平台上设有两个X轴导轨，且所述平台在一侧枢设有一导螺杆，所述第一滑台底部设有两个滑座，该两个滑座滑动地设于该两个X轴导轨上，且所述第一滑台在侧向伸设一导引座，该导引座被带动地穿设于该导螺杆上，且该导螺杆的一端设有一伺服马达，以该伺服马达驱动该导螺杆转动且经该导引座带动所述第一滑台在二维坐标系统的X轴平移。

3.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述第一滑台上设有两个Y轴导轨，且所述第一滑台在一侧枢设有一导螺杆，所述第二滑台底部设有两个滑座，该两个滑座滑动地设于该两个Y轴导轨上，且所述第二滑台在侧向伸设一导引座，该导引座被带动地穿设于该导螺杆上，且该导螺杆的一端设有一伺服马达，以该伺服马达驱动该导螺杆转动且经该导引座带动所述第二滑台在二维坐标系统的Y轴平移。

4.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述第一支架设有一伺服马达，该伺服马达带动所述第三滑台纵向滑动。

5.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述移动结构在所述第二支架顶端设有一X轴滑轨，在该X轴滑轨上设有一第四滑台，且该第四滑台上设有一Y轴滑轨，该Y轴滑轨上设有一第五滑台，所述显微镜观测单元装设在该第五滑台的前端而位于所述平台上。

6.如权利要求5所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述第五滑台上邻近所述显微镜观测单元的位置设有两个握柄。

7.如权利要求1所述的探针卡检测装置，其特征在于：所述影像撷取单元所撷取的影像以一显示器显示。