[实用新型]探针卡检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种探针卡检测装置，尤指一种自动检测探针卡的接脚位置是否正确的装置。

背景技术

图6所示为习用的探针卡检测装置，在检测时可利用治具将探针卡定位在平台90上，此平台90上具有模拟晶圆各个接脚垫的位置标示，藉由平台90上方的显微镜观测器91观测探针卡的接脚位置是否符合各个接脚垫的位置，此时显微镜观测器91所观测到的影像传输至电脑装置92，并由显示器93显示所观测到的影像，检测者若由显示器93观测出探针卡的接脚位置与接脚垫的标示有误，便将探针卡由平台90取出至校正装置调校接脚至正确位置。

然而，以此探针卡检测装置观测探针卡的接脚位置时，必须将整个探针卡的所有接脚区分为多个待测区块再一一检视，而探针卡在观测与调校时必须由不同装置进行，故须在不同装置间拆装探针卡，故除了调校动作繁杂之外，检测者必须在检测过程中记录区块检测的顺序，若检测人员在拆装过程中未谨慎记录，则可能造成某区块被重复检测或遗漏检测，前者造成检测时间的浪费及检测效率不佳，后者则造成探针卡的检测率不稳定。

因此，如何解决习用探针卡检测装置的问题，即为本实用新型的重点所在。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述的问题而提供一种探针卡检测装置，令探针卡的接脚检测更准确，且在校正时可达到快速及方便的功效。

为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种探针卡检测装置，其特征在于，它包括：

一机台，该机台上具有一平台，该平台上设有一第一滑台，该第一滑台上设有一第二滑台，该第一滑台与第二滑台在该平台上以二维坐标系统的X轴与Y轴正交平移，在该第二滑台上设有一供受测的探针卡放置的固定座；

一影像撷取单元，该影像撷取单元结合在一第三滑台上，该第三滑台滑动地设在一伫立在该平台上的第一支架上，而令该影像撷取单元在该平台上纵向地滑动；

一控制单元，该控制单元用以控制该第一滑台、第二滑台及该第三滑台在平台上的滑动，且控制该影像撷取单元撷取影像，并该控制单元内建有一量测软件，影像撷取单元撷取探针卡所有接脚位置并以该量测软件判断接脚位置是否正确；

一观测装置，该观测装置在校正探针卡的错位接脚时观测，该观测装置包括一移动结构及一显微镜观测单元，该移动结构架设在一伫立于该平台上的第二支架上，且该显微镜观测单元随该移动结构在该平台上以二维坐标系统的X轴与Y轴正交平移。

本实用新型的优点是：

1、利用控制单元控制第一滑台、第二滑台及第三滑台的位移，并控制影像撷取单元撷取探针卡的接脚影像，并由控制单元内建的正确位置资料判断受测探针卡的接脚位置是否正确，通过控制单元自动化程序判断探针卡的接脚位置，而避免人为检测的错误发生，检测正确性相对更为准确。

2、若探针卡的接脚位置错误时，检测者可通过控制单元控制该第一滑台平移，而直接将探针卡平移至显微镜观测单元下方，便可由显微镜观测单元观测位置错误的接脚，并将接脚校正回正确位置，而非习用的检测装置那样必须将探针卡拆下，再在校正设备上安装调校，故本实用新型的探针卡检测装置在对探针卡的接脚校正时，可达到快速、方便的功效。

附图说明

图1是本实用新型实施例的立体外观构造图。

图2是本实用新型实施例的探针卡以部分接脚为检测区块的示意图。

图3是图2中区块A的放大示意图。

图4是本实用新型实施例的探针卡随第一滑台平移至显微镜观测单元下方后定位的示意图。

图5是本实用新型实施例的探针卡的接脚调校示意图。

图6是习用探针卡检测装置的结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1至图5，图中所示为本实用新型所选用的实施例结构，此仅供说明之用，在专利申请上并不受此种结构限制。

本实施例提供一种探针卡检测装置，如图1所示，此探针卡检测装置包括一机台1、一影像撷取单元2、一控制单元3及一观测装置4，其中：

如图1所示，该机台1上具有一平台10，此平台10上设有一第一滑台11，此第一滑台11上设有一第二滑台12，该第一滑台11与第二滑台12可在该平台10上以二维坐标系统的X轴与Y轴正交平移，在该第二滑台12上设有一供受测的探针卡放置的固定座13。