[实用新型]热偶真空计有效
| 申请号： | 201120294062.X | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202177485U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/14 | 分类号： | G01L21/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空计 | ||
【权利要求书】：
1.一种热偶真空计，包括管基、管壳、芯柱、以及设于管壳内的压力感应件，所述压力感应件封装在芯柱上，所述管壳和芯柱封装在管基上，所述管壳的另一端设有连接真空腔室的连接管，其特征在于：所述管壳与连接管的接合处设有过滤件。
2.根据权利要求1所述热偶真空计，其特征在于：所述过滤件包括金属滤网以及金属滤网边缘的环形金属密封件。
3.根据权利要求2所述热偶真空计，其特征在于：所述金属滤网边缘的环形金属密封件由铝材料制成。
4.根据权利要求1或2所述热偶真空计，其特征在于：所述过滤件通过环形压片压紧在热偶真空计管壳内壁上。
5.根据权利要求4所述热偶真空计，其特征在于：所述压紧过滤件的环形压片由不锈钢材料制成。
6.根据权利要求2所述热偶真空计，其特征在于：所述金属滤网的孔径小于等离子体波长的1/2。
7.根据权利要求6所述热偶真空计，其特征在于：所述金属滤网的孔径小于0.4mm。
8.根据权利要求1所述热偶真空计，其特征在于：所述加热丝由铂丝或钨丝或镍丝材料制成。
9.根据权利要求1所述热偶真空计，其特征在于：所述热电偶由康铜合金或铂铑-铂或铜-康铜材料制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120294062.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
