[实用新型]热偶真空计

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种热偶真空计。

背景技术

热偶真空计(Thermal couple gauge)是根据在低压力下，气体分子热传导与压力有关的原理制成的。现有技术的热偶真空计如图1所示，包括管基1，管壳2，芯柱3以及设于管壳2内的压力感应件，所述压力感应件包括加热丝41、42，热电偶51、52和支撑杆61、62、63、64，所述支撑杆封装在芯柱上，所述管壳2和芯柱3封装在管基1上，加热丝41、42一端分别连接在支撑杆61、62上，所述支撑杆61、62另一端分别穿过管基1构成两个加热电源输入端，热电偶51、52一端分别与支撑杆63、64一端连接，支撑杆63、64的另一端穿过管基1构成两个信号输出端，上述两个加热丝与两个热电偶的另一端汇交于一点7，称之为热交点，管壳的另一端设有连接真空腔室的连接管21。加热丝41、42通以电流加热，使其温度高于周围气体和管壳2的温度，于是在加热丝41、42和管壳2之间产生热传导。当达到热平衡时，加热丝41、42的温度决定于气体热传导，因而也就决定于气体压力。如果测量的压力保持不变，则加热丝的温度也保持不变。如果压力上升，气体分子增多，随之分子与加热丝之间的撞击也会增多，气体分子带走加热丝上面更多的热量，加热丝的温度下降，同时热偶真空计的热电势也呈比例下降；反之如果压力下降，气体分子减少，分子与加热丝的撞击也会减少，气体从加热丝上带走的热量也减少，从而加热丝的温度上升，所述热偶真空计的热电势也增大。综上所述，热偶真空计是将环境内压力的变化与因温度影响加热丝阻值而产生的压差联系起来，达到测量的目的。

现有技术的热偶真空计一般用于真空泵与真空设备之间的前段管路以及测量低温泵做再生时的压力，所述热偶真空计不足之处在于，存在很高的故障率。经统计发现绝大部分发生在机台的等离子体清理过程中，在检测气体压力时，等离子体进入热偶真空计内部，造成损伤，所述热偶真空计易发生故障、使用寿命明显降低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种故障率低、使用寿命长且能应用于强等离子体真空环境下的热偶真空计。

本实用新型的技术解决方案是热偶真空计，包括管基、管壳、芯柱、以及设于管壳内的压力感应件，所述压力感应件封装在芯柱上，所述管壳和芯柱封装在管基上，所述管壳的另一端设有连接真空腔室的连接管，其特殊之处在于，所述管壳与连接管的接合处设有过滤件。

作为优选：所述过滤件包括金属滤网以及金属滤网边缘的环形金属密封件。

作为优选：所述金属滤网边缘的环形金属密封件由铝材料制成。

作为优选：所述过滤件通过环形压片压紧在热偶真空计管壳内壁上。

作为优选：所述压紧过滤件的环形压片由不锈钢材料制成。

作为优选：所述金属滤网的孔径小于等离子体波长的1/2。

作为优选：所述金属滤网的孔径小于0.4mm。

作为优选：所述加热丝由铂丝或钨丝或镍丝材料制成。

作为优选：所述热电偶由康铜合金或铂铑-铂或铜-康铜材料制成。

与现有技术相比，本实用新型的优点是结构简单、成本低、大大降低了故障率、延长了热偶真空计的使用寿命且能应用于强等离子体的真空环境下。

附图说明

图1是现有技术热偶真空计的结构图。

图2是本实用新型热偶真空计的结构图。

图3是本实用新型热偶真空计的示意图。

具体实施方式

本实用新型下面将结合附图作进一步详述：