[实用新型]大直径MOCVD反应器的喷淋头

权利要求书

1.大直径MOCVD反应器的喷淋头，包括III族腔、V族腔以及冷却水腔，其特征在于，III族腔、V族腔以及冷却水腔均分隔为N个腔体，N是大于等于2的自然数，每腔体均为一单体。

2.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，冷却水腔的各个腔体的进水部位于各个腔体的内侧中心，且出水部位于各个腔体的外周位置。

3.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，在喷淋头的正中间，通入一根V气体的管道至喷淋头下方的反应腔。

4.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，III族腔的各腔体通过一块配流孔板分成上、下两个腔，上、下两个腔通过配流孔板上的孔相通。

5.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述N个腔体为四个等分的腔体。

6.如权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，III族腔、V族腔以及冷却水腔为圆形，II族腔、V族腔以及冷却水腔的各个腔体为扇形。

7.如权利要求4所述的喷淋头，其特征在于，包括顶部组件和喷淋组件，顶部组件包括上盖板，上盖板提供有所述III族腔，上盖板上形成有III族气体进入通道，该III族气体进入通道与所述III族腔的上腔连通；喷淋组件包括N个喷淋单元，各喷淋单元包括上孔板、中间孔板、下孔板、圈围侧壁、上毛细管组以及下毛细管组，上孔板、中间孔板以及环绕上孔板、中间孔板的圈围侧壁围成所述V族腔的一个腔体，圈围侧壁上形成有通往V族腔的该腔体的V族气体进入通道，中间孔板、下孔板以及环绕中间孔板、下孔板的圈围侧壁围成所述冷却水腔的一个腔体，上毛细管组的各管穿设在上孔板、中间孔板、下孔板的孔中，下毛细管组的各管穿设在中间孔板、下孔板的孔中，V族腔和冷却水腔不相通，下毛细管组将V族腔和喷淋头下方的反应腔导通；喷淋组件位于顶部组件的下方，上毛细管组的各管将下III族腔与喷淋头下方的反应腔导通；上毛细管组和下毛细管组交错布置。

8.如权利要求7所述的喷淋头，其特征在于，喷淋组件的外围环绕有冷却水环。

9.如权利要求7所述的喷淋头，其特征在于，还包括用于分配冷却水的配流管，各冷却水腔的各个腔体的进水部位于各个腔体的内侧中心，且出水部位于各个腔体的外周位置，各进水部通过进水管连接至同一该配流管。