[实用新型]双波纹管结构的化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种双波纹管结构的化学气相沉积设备，包括：反应气体导入部件(1)、反应腔体(2)、腔体上盖(4)、上盖支撑(5)、闸板阀(6)、固定底板(11)、上升降板驱动(23)、上升降板驱动杆(26)、上升降板导柱(7)、上升降板(28)、上波纹管(3)、气体导入部件支撑(27)、下升降板驱动(22)、下升降板驱动杆(21)、下升降板导柱(12)、下升降板(13)、下波纹管(14)、载片盘支撑(17)、石英罩(20)、载片盘(16)、加热器支撑(18)、加热器(19)和反应腔壳体(25)，其特征在于反应气体导入部件(1)由反应气体导入部件支撑(27)固定支撑，反应气体导入部件支撑(27)与上升降板(28)固定连接，反应气体导入部件支撑(27)上设有上波纹管(3)，上波纹管(3)与腔体上盖(4)连接，载片盘(16)通过石英罩(20)和载片盘支撑(17)固定在下升降板(13)上，加热器(19)通过加热器支撑(18)固定在下升降板(13)上，下升降板(13)连接下波纹管(14)，底板(11)上设有上升降板驱动(23)、上升降板驱动杆(26)、上升降板导柱(7)、下升降板驱动(22)、下升降板驱动杆(21)及下升降板导柱(12)。

2.根据权利要求1所述的双波纹管结构的化学气相沉积设备，其特征在于上盖支撑(5)上设有闸板阀(6)。

3.根据权利要求1所述的双波纹管结构的化学气相沉积设备，其特征在于气体导入部件(1)通过气体导入支撑(27)连接上波纹管(3)成为活动部件。

4.根据权利要求1所述的双波纹管结构的化学气相沉积设备，其特征在于所述下升降板驱动(22)和下升降板驱动杆(21)通过下升降板(13)与下波纹管(14)和加热器支撑(18)控制加热器(19)的升降运动。

5.根据权利要求1所述的双波纹管结构的化学气相沉积设备，其特征在于所述下升降板驱动(22)和下升降板驱动杆(21)通过下升降板(13)、下波纹管(14)、载片盘支撑(17)和石英罩(20)控制载片盘(16)的升降运动。

6.根据权利要求1所述的双波纹管结构的化学气相沉积设备，其特征在于所述气体导入部件(1)通过上波纹管(3)连接向上移动，使气体导入部件(1)与载片盘之间有足够的空间间距将载片台(16)通过闸板阀(6)移出。