[实用新型]标准机械接口装置有效
| 申请号： | 201120335158.6 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN202205720U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 胡策明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 标准 机械 接口 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种标准机械接口装置，包括一腔体，其特征在于，所述标准机械接口装置还包括负离子发生器、灰尘收集板和正高压发生电路；
所述负离子发生器和灰尘收集板设置所述腔体内，且所述负离子发生器与所述灰尘收集板平行设置，在所述负离子发生器与灰尘收集板之间形成电场强；
所述正高压发生电路设置在所述腔体外，所述正高压发生电路与所述灰尘收集板电连接。
2.如权利要求1所述的标准机械接口装置，其特征在于，所述腔体为矩形腔体，所述负离子发生器设置在所述腔体第一表面的内壁上，所述灰尘收集板设置在所述腔体第二表面的内壁上，所述第二表面与所述第一表面平行。
3.如权利要求1所述的标准机械接口装置，其特征在于，所述灰尘收集板呈平板状。
4.如权利要求1所述的标准机械接口装置，其特征在于，所述灰尘收集板由导电材料制成。
5.如权利要求1所述的标准机械接口装置，其特征在于，所述标准机械接口装置还包括底座，所述腔体设有一窗口，所述底座设置在所述腔体上且与所述窗口活动连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
