[实用新型]用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置

权利要求书

1.一种用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，包括用于蚀刻设备的第一槽体和第二槽体，所述第一槽体包括用于盛放硝酸的添加桶和第一酸液槽；所述第二槽体包括用于盛放硝酸的第二酸液槽；其特征在于，

所述第二槽体还包括一与所述第二酸液槽连通的酸液回收槽，所述酸液回收槽还与所述第一槽体的所述添加桶连通。

2.如权利要求1所述的用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，其特征在于，所述第二酸液槽的上部设置有一溢流通道，所述酸液回收槽和所述第二酸液槽的通过所述溢流通道连通。

3.如权利要求1所述的用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，其特征在于，所述酸液回收槽与所述添加桶通过回流管道连通，所述回流管道上设置有一用于将所述酸液回收槽中的硝酸泵送至所述添加桶的循环泵。

4.如权利要求3所述的用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，其特征在于，所述回流管道上还设有一连接至所述第二酸液槽底部的回流支管，所述回流支管上设有一能够使所述第二酸液槽内的酸液流出或截止的阀门。

5.如权利要求3所述的用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，其特征在于，所述循环泵为隔膜泵。