[实用新型]用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种化学品回收装置，特别是指一种用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置。

背景技术

硅太阳能电池制作过程中，太阳能电池硅片经扩散工艺后，在硅片表面会形成扩散层。而硅片其中一面的扩散层需要通过一定的工艺蚀刻掉。这个工艺过程中需要用到大量的腐蚀液，腐蚀液通常为氢氟酸和硝酸的混合物。现有技术中大部分采用链式扩散工艺，这使得蚀刻后清洗设备(即清洗机)需要增加盛放硝酸的槽体，这可以起氧化硅片表面的作用，利于喷涂正常运行。这样整个过程中就需要用到两个独立的槽体，分别是用于蚀刻工序中的蚀刻设备的第一槽体和第二槽体。其中的第一槽体和第二槽体中均用到硝酸。现有技术中第二槽体的硝酸在用完后，一般作为化学废水随意排放掉了，这样就造成了化学品的严重浪费。另一方面也可能造成环境污染，如增加废水处理设备又会增加额外的生产成本。

实用新型内容

鉴于现有技术存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种能将太阳能湿制程蚀刻工序中的硝酸进行循环回收利用的硝酸回收装置。

为了实现上述目的，本实用新型提供的一种用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，包括用于蚀刻设备的第一槽体和第二槽体，所述第一槽体包括用于盛放硝酸的添加桶和第一酸液槽；所述第二槽体包括用于盛放硝酸的第二酸液槽；其中所述第二槽体还包括一与所述第二酸液槽连通的酸液回收槽，所述酸液回收槽还与所述第一槽体的所述添加桶连通。

作为优选，所述酸液回收槽与所述添加桶通过回流管道连通，所述回流管道上设置有一用于将所述酸液回收槽中的硝酸泵送至所述添加桶的循环泵。

作为优选，所述回流管道上还设有一连接至所述第二酸液槽底部的回流支管，所述回流支管上设有一能够使所述第二酸液槽内的酸液流出或截止的阀门。

作为优选，所述循环泵为隔膜泵。

与现有技术比较，本实用新型具有以下有益效果：

1)将蚀刻后清洗设备的酸液循环输送至需要使用硝酸的蚀刻设备，节省了化学品用量。

2)相比较于直接将蚀刻后清洗设备的酸液随意排放的方式，缩减了废水处理成本，降低了环境污染的可能性。

附图说明

图1为本实用新型的用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的结构做进一步详细的说明。

在现有工艺中，太阳能湿制程设备包括的蚀刻设备和蚀刻后清洗设备(在本实用新型未给出图示)。结合图1所示，本实用新型的用于太阳能电池湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置包括用于蚀刻设备的第一槽体1和第二槽体2，所述第一槽体1包括用于盛放硝酸的添加桶3和第一酸液槽4；如图1所示，第一酸液槽4为工作槽体，添加桶3通常设置有多个，分别用于向第一酸液槽4中添加氢氟酸(HF)、水或者硝酸(HNO₃)，而第一酸液槽4下方设置有储液槽6，用于临时储存工作槽体所需的酸液，与所述储液槽6连接的泵9，11和12分别用于将储液槽6的酸液泵送至第一酸液槽4或者使酸液在储液槽6中自循环。所述第二槽体2包括用于盛放硝酸的第二酸液槽7；其中所述第二槽体2还包括一与所述第二酸液槽7连通的酸液回收槽8，所述酸液回收槽8还与所述第一槽体1的盛放硝酸的所述添加桶3连通。在本实用新型中，虽然通过其他的连通方式(例如通过管道和泵)也能将第二酸液槽7中多余的酸液转移至酸液回收槽8。但作为优选，在本实施例中，所述第二酸液槽7的上部设置有一溢流通道(图1中未示出)，所述酸液回收槽8和所述第二酸液槽7通过所述溢流通道连通。这样可将第二酸液槽7中多余的硝酸溢流转移到酸液回收槽8，然后再输送到与所述酸液回收槽8连通的盛放硝酸的添加桶3中，当第一槽体1需要硝酸的时候，就可以直接从盛放硝酸的添加桶3中添加使用，减少了硝酸的用量和不必要的化学品排放。

在本实用新型中，作为优选，所述酸液回收槽8与所述添加桶3通过回流管道10连通，所述回流管道10上设置有一用于将所述酸液回收槽8中的硝酸泵送至盛放硝酸的所述添加桶3的循环泵5。另外，对于第二酸液槽7中用完剩余的酸液，在本实施例中，可选在所述回流管道10上还设有一连接至所述第二酸液槽7底部的回流支管13，所述回流支管13上设有一能够使所述第二酸液槽7内的酸液在使用完毕后流出或在正常使用状态时截止的阀门14。

因为泵送的液体为腐蚀性液体，因此循环泵5应设置为耐腐蚀的泵体，作为优选，所述循环泵5为隔膜泵。