[实用新型]搬送机夹具硅片固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，属于一种固定装置，尤其涉及一种搬送机夹具硅片固定装置。

背景技术

BOAT-TYPE湿法处理机台需要将一个批次的硅片(2盒，最多50枚)一起从片盒中传送至晶舟上，再由机械手搬送进处理槽。如图1所示，搬送机将硅片搬送到处理槽的过程中，硅片与某些化学药液接触会产生较为剧烈的化学反应，硅片会在晶舟上产生晃动，导致硅片晃出晶舟，产生漂片、倒片的现象。

对于现有BOAT-TYPE湿法处理机台，硅片固定装置大都安装在处理槽的盖子上。当处理槽盖子关闭后，在一定程度上能够防止在硅片处理过程中发生倒片、漂片。但在处理槽盖子关闭前，无法防止硅片在搬送过程中发生倒片、漂片。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种搬送机夹具硅片固定装置，防止在搬送过程中硅片在晶舟上晃动，避免发生漂片和倒片。

为解决上述技术问题，本实用新型的搬送机夹具硅片固定装置，所述每个夹具包括两根夹臂，所述固定装置包括一硅片固定压杆、分别安装在夹臂上的两硅片压杆固定块，所述硅片压杆固定块上凹设有一个弧形导向槽，两弧形导向槽对称分布，所述硅片固定压杆的一端位于一硅片压杆固定块的弧形导向槽中，另一端位于相对的硅片压杆固定块的弧形导向槽中。

进一步地，所述弧形导向槽可替换为弧形导向孔，所述硅片固定压杆的一端位于一硅片压杆固定块的弧形导向孔中，另一端位于相对的硅片压杆固定块的弧形导向孔中。

本实用新型通过在搬送机夹具上安装硅片压杆固定块和硅片固定压杆，在固定压杆自身重力的作用下，固定晶舟上的硅片，阻止硅片偏离原有位置，有效避免了硅片晃出晶舟发生漂片和倒片的现象。

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1是现有搬送机运送硅片的示意图；

图2是本实用新型搬送机运送硅片的示意图；

图3是本实用新型的结构示意图；

图4是本实用新型中硅片压杆固定块的主视图。

具体实施方式

本实用新型的搬送机夹具硅片固定装置，所述每个夹具包括两根夹臂1，如图3所示，所述固定装置包括一硅片固定压杆4、分别安装在夹臂1上的两硅片压杆固定块2，所述硅片压杆固定块2上凹设有一个弧形导向槽3，两弧形导向槽3对称分布，所述硅片固定压杆4的一端位于一硅片压杆固定块2的弧形导向槽3中，另一端位于相对的硅片压杆固定块2的弧形导向槽3中。

所述弧形导向槽3可替换为弧形导向孔，所述硅片固定压杆4的一端位于一硅片压杆固定块2的弧形导向孔中，另一端位于相对的硅片压杆固定块2的弧形导向孔中。

所述硅片固定压杆4为圆柱体。

在本实施例中，如图4所示，硅片压杆固定块为长方体结构，由聚四氟乙烯制成，长30mm，宽20mm，高50mm，弧形导向槽3的孔径为10mm，深度为10mm，所述弧形导向槽3的上下两端分别距离硅片压杆固定块2的上下边缘10mm。所述硅片压杆固定块底部距离夹具底部190mm。

所述硅片固定压杆4为长160mm，截面直径为9mm的圆柱体结构，其主体材料为石英，外部的保护层材料为四氟乙烯全氟代烷基乙烯基醚共聚物。

在搬送机搬送硅片过程中，硅片固定压杆4由于自身重力，始终固定在硅片的上端边缘，防止硅片晃动，如图2所示。

在搬送机夹具打开/关闭的动作过程中，硅片固定压杆4受夹具动作的影响，顺着弧形导向槽3上移，使之不会对硅片造成压伤。

以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可对硅片压杆固定块和硅片固定压杆等做出许多变形和等效置换，这些也应视为本实用新型的保护范围。