[实用新型]输送起伏式的化学浴沉积设备

权利要求书

1.一种输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，包含有：

一浴槽，用以盛放有一溶液；以及

一传送单元，具有多个输送滚轮，设置于该浴槽中用以传送一药液盒，其中，该多个输送滚轮以高低起伏的排列方式而配置。

2.如权利要求1所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，该多个输送滚轮的配置低于该溶液的液面。

3.如权利要求1所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，该热水浴槽具有一内壁面及一外壁面，在该内壁面及该外壁面之间进一步设置一保温材。

4.如权利要求1所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，更包含有多个传动轴分别穿设于该多个输送滚轮内，该多个传动轴的任两相邻传动轴的各轴心间的水平高度具有一落差，用以配置成逐渐上升再逐渐下降的交替排列。

5.如权利要求1所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，更包含有多个传动轴分别穿设于该多个输送滚轮内，该多个传动轴之中的相邻两传动轴的各轴心间的水平高度具有一落差，用以配置成逐渐下降再逐渐上升的交替排列。

6.如权利要求4或5所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，更包含有多个支撑座组，该多个支撑座组用以分别架设该多个传动轴。

7.如权利要求1所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，更包含有多个尺寸一致的传动轴分别穿设于该多个输送滚轮内，且该多个输送滚轮的任两相邻的输送滚轮的直径不相等，并配置成依照该多个输送滚轮的直径由大至小，再由小到大的交替排列。

8.如权利要求1所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，更包含有多个尺寸一致的传动轴分别穿设于该多个输送滚轮内，且该多个输送滚轮的任两相邻的输送滚轮的直径不相等，并配置成依照该多个输送滚轮的直径由小至大，再由大到小的交替排列。

9.如权利要求1所述的输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，该浴槽具有一内壁面及一外壁面，在该内壁面及该外壁面之间进一步设置一加热器或冷却器，用以调节该浴槽的温度。