[实用新型]屏蔽机构有效
| 申请号： | 201120374791.6 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN202259214U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王晨;胡彩丰 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 屏蔽 机构 | ||
1.屏蔽机构，其特征在于，包括：屏蔽带，设置为矩形框结构，由上下左右四条边框组成，左右边框分别位于机械臂水平导轨的两端，下边框与机械臂水平导轨并列设置，上边框不超过机械臂的顶端。
2.如权利要求1所述的屏蔽机构，其特征在于，包括隔板和支撑架，所述隔板与机械臂水平导轨并列设置，隔板上设置有滚轮，屏蔽带左右边框与下边框的交接处分别跨过该滚轮；所述支撑架上也设置有滚轮，屏蔽带左右边框与上边框的交接处分别跨过该滚轮。
3.如权利要求2所述的屏蔽机构，其特征在于，所述隔板上设置有压条，压条位于屏蔽带下边框的两侧，对屏蔽带下边框限位。
4.如权利要求2所述的屏蔽机构，其特征在于，所述支撑架上设置有托板，屏蔽带上边框位于托板上。
5.如权利要求2所述的屏蔽机构，其特征在于，所述隔板上设置有连接组件，所述连接组件分别与屏蔽带下边框和机械臂相连接。
6.如权利要求5所述的屏蔽机构，其特征在于，所述连接组件包括垂直连接的安装板和连接立板，屏蔽带下边框固定在所述安装板上，所述连接立板与机械臂相连。
7.如权利要求6所述的屏蔽机构，其特征在于，所述连接立板与屏蔽带左右边框相平行或者垂直。
8.如权利要求6所述的屏蔽机构，其特征在于，所述安装板包括挡板、设置在挡板上的平板、以及设置在平板上的压块，所述屏蔽带下边框位于平板和压块之间。
9.如权利要求8所述的屏蔽机构，其特征在于，所述挡板的尺寸大于所述平板的尺寸，所述平板位于挡板上表面内部。
10.如权利要求1所述的屏蔽机构，其特征在于，所述屏蔽带为聚氯乙烯材质。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
