[实用新型]屏蔽机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体、太阳能技术中硅材料的清洗，特别是涉及一种用于屏蔽酸雾水雾的屏蔽机构。

背景技术

在半导体、太阳能技术中，都会涉及到对硅材料的清洗，清洗设备中，经常通过腐蚀来实现对硅表面的工艺要求，而自动设备通常通过水平和竖直两个方向的机械臂来实现负载的运动，这就不可避免的形成机械臂传动区与腐蚀工艺区的联通，机械臂传动部分由于强度上的要求，必须采用金属材料，其耐腐蚀性能较差，使用一段时间后，会出现酸雾、水雾由腐蚀工艺区溢出至传动区内，造成金属材料锈蚀、失效，出现设备自动运行的故障，而简单的物理隔离不能保证良好的屏蔽效果，反而引入污染。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是：在对硅材料进行腐蚀处理时，如何避免对机械臂传动部分的腐蚀，而又不会对传动部分带来负面影响。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种屏蔽机构，其包括：屏蔽带，设置为矩形框结构，由上下左右四条边框组成，左右边框分别位于机械臂水平导轨的两端，下边框与机械臂水平导轨并列设置，上边框不超过机械臂的顶端。

其中，包括隔板和支撑架，所述隔板与机械臂水平导轨并列设置，隔板上设置有滚轮，屏蔽带左右边框与下边框的交接处分别跨过该滚轮；所述支撑架上也设置有滚轮，屏蔽带左右边框与上边框的交接处分别跨过该滚轮。

其中，所述隔板上设置有压条，压条位于屏蔽带下边框的两侧，对屏蔽带下边框限位。

其中，所述支撑架上设置有托板，屏蔽带上边框位于托板上。

其中，所述隔板上设置有连接组件，所述连接组件分别与屏蔽带下边框和机械臂相连接。

其中，所述连接组件包括垂直连接的安装板和连接立板，屏蔽带下边框固定在所述安装板上，所述连接立板与机械臂相连。

其中，所述连接立板与屏蔽带左右边框相平行或者垂直。

其中，所述安装板包括挡板、设置在挡板上的平板、以及设置在平板上的压块，所述屏蔽带下边框位于平板和压块之间。

其中，所述挡板的尺寸大于所述平板的尺寸，所述平板位于挡板上表面内部。

其中，所述屏蔽带为聚氯乙烯材质。

(三)有益效果

上述技术方案所提供的屏蔽机构，使用聚氯乙烯作为屏蔽带，将机械臂传动区与腐蚀工艺区隔离开，屏蔽带耐腐蚀，能够有效遮挡腐蚀工艺区产生的酸雾水雾，防止机械臂传动区部件遭受腐蚀和生锈；并且，屏蔽机构中的连接部件能够跟随机械臂沿水平导轨运动，既不影响机械臂竖直方向的运动，又能带动屏蔽带随机械臂水平运动，实现机械臂运动过程中的酸雾水雾屏蔽功能。

附图说明

图1是依照本实用新型一种实施例的屏蔽机构结构示意图；

图2是图1所示屏蔽带跨过滚轮固定于连接组件的示意图；

图3是图1所示屏蔽机构连接组件的放大示意图；

图4是将屏蔽带与连接组件相连接的结构剖视图；

图5是依照本实用新型另一种实施例的屏蔽机构结构示意图；

图6是图5所示屏蔽机构连接组件的放大示意图。

其中，1：屏蔽带；11：第一端头；12：第二端头；2：托板；3：机械臂；4：滚轮；5：压条；6：隔板；7：连接组件；71：第一压块；72：第一平板；73：第二平板；74：连接立板；75：第二压块；76：第一挡板；77：第二挡板；8：导轨；9：支撑架。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

实施例1

图1示出了本实用新型实施例的屏蔽机构的结构示意图，该屏蔽机构用于半导体、太阳能技术中硅材料腐蚀清洗时，对机械臂传动区和腐蚀工艺区的隔离，防止腐蚀工艺区的酸雾水雾进入机械臂传动区而对机械臂传动部件造成腐蚀和损坏。

本实施例的屏蔽机构包括屏蔽带1和支撑屏蔽带1的支撑结构，具体地，支撑结构包括隔板6和支撑架9，隔板6与机械臂3的水平导轨8并列设置，隔板6上设置有两个滚轮4，两个滚轮4之间的距离与导轨8的长度基本相等。支撑架9设置在隔板6上方，安装在硅腐蚀清洗设备的骨架上，支撑架9上也设置有两个滚轮4，此处的两个滚轮4分别位于隔板6上两个滚轮4的正上方。屏蔽带1的两端分别跨过上下设置的两个滚轮4，在隔板6上方连接。