[实用新型]用于单晶炉的真空封闭结构

权利要求书

1.一种用于单晶炉的真空封闭结构，包括：隔离阀阀板，隔离阀阀板与隔离阀阀体固定连接，其特征在于，还包括：中空环形压板组件、压紧环和封闭片，其中：中空环形压板组件与隔离阀阀体固定连接，封闭片的压入段放置于压板组件的压固段上，压紧环设置于封闭片的压入段与隔离阀阀体之间，封闭片的固定段与隔离阀阀体面接触，所述的封闭片的固定段嵌入于隔离阀阀体的凹槽中；

所述的封闭片为环状结构，该封闭片的固定段和压入段之间设有密封段。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的真空封闭结构，所述的压紧环填满封闭片的压入段与隔离阀阀体之间的区域，压紧环的压力使封闭片的压入段位置固定。

3.根据权利要求1所述的用于单晶炉的真空封闭结构，其特征是所述封闭片的固定段的截面为长方形，该封闭片的压入段的截面为长方形，该封闭片的密封段的截面为半圆环型。

4.根据权利要求1所述的用于单晶炉的真空封闭结构，其特征是，所述的隔离阀阀板的横截面为等腰梯形，该等腰梯形的斜边的斜度与密封段的下半圆环的外圈的一点相切，等腰梯形的底边的长度小于压板组件的内径长度，等腰梯形的底边的长度小于压紧环的内径长度，该等腰梯形的高度能够保证隔离阀阀板从打开状态的90度位置移动到关闭状态的水平位置的过程中，隔离阀阀板与隔离阀阀体不接触。

5.根据权利要求1所述的用于单晶炉的真空封闭结构，其特征是，所述的中空环形压板组件包括：压板件和支撑环，其中：支撑环设置于压板件上，封闭片设置于支撑环上。

6.根据权利要求5所述的用于单晶炉的真空封闭结构，其特征是，所述的支撑环为柔性石墨材料。

7.根据权利要求1所述的用于单晶炉的真空封闭结构，其特征是，所述的压紧环为柔性石墨材料。