[实用新型]用于单晶炉的真空封闭结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及的是一种单晶炉技术领域的结构，具体是一种用于单晶炉的真空封闭结构。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

直拉式单晶炉采用直拉法生产硅单晶棒。生产时，当硅拉制成型后，需在上炉筒中冷却后取出，以避免高温硅棒暴露于大气中，影响硅棒质量，冷却时上炉筒需保持真空状态。

为了使上炉筒保持真空状态，单晶炉需要配置隔离阀，现有的竖直隔离阀采用O型圈密封，在高温环境下O型圈可能因软化而脱落，且每次生产后均需更换O型圈，同时为了确保O型圈正常工作，需大量冷却水。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于克服上述隔离阀密封结构的缺陷，从而提供一种用于单晶炉的真空封闭结构，实现了对上炉筒的真空密封，且结构简单，加工方便。

为达到上述目的，本实用新型的用于单晶炉的真空封闭结构包括：隔离阀阀板，隔离阀阀板与隔离阀阀体固定连接，还包括：中空环形压板组件、压紧环和封闭片，其中：中空环形压板组件与隔离阀阀体固定连接，封闭片的压入段放置于压板组件的压固段上，压紧环设置于封闭片的压入段与隔离阀阀体之间，封闭片的固定段与隔离阀阀体面接触，所述的封闭片的固定段嵌入于隔离阀阀体的凹槽中。

所述的压紧环填满封闭片的压入段与隔离阀阀体之间的区域，压紧环的压力使封闭片的压入段位置固定。

所述的封闭片为环状结构，该封闭片的固定段和压入段之间设有密封段。

所述封闭片的固定段的截面为长方形，该封闭片的压入段的截面为长方形，该封闭片的密封段的截面为半圆环型。

所述的隔离阀阀板的横截面为等腰梯形，该等腰梯形的斜边的斜度与密封段的下半圆环的外圈的一点相切，等腰梯形的底边的长度小于压板组件的内径长度，等腰梯形的底边的长度小于压紧环的内径长度，该等腰梯形的高度能够保证隔离阀阀板从打开状态的90度位置移动到关闭状态的水平位置的过程中，隔离阀阀板与隔离阀阀体不接触。

所述的中空环形压板组件包括：压板件和支撑环，其中：支撑环设置于压板件上，封闭片设置于支撑环上。

所述的支撑环和压紧环均为柔性石墨材料。

本实用新型采用支撑环和压紧环固定封闭片的压入段，隔离阀阀板的横截面与封闭片的密封段下部横截面为点接触，构成了环形封闭片与隔离阀阀板的面接触，实现了真空密封效果，本实用新型结构简单，加工方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为图1中A处的局部放大图。

图3为本实用新型的隔离阀阀板的结构示意图。

图4为本实用新型的中空环形压板组件的结构示意图。

图5为本实用新型的封闭片的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图以具体实施例对本实用新型的技术特征作进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限定本实用新型的范围。

实施例1

如图1、图2和图3所示，本实用新型的用于单晶炉的真空封闭结构包括：隔离阀阀板1，隔离阀阀板1与隔离阀阀体2固定连接，还包括：中空环形压板组件3、压紧环4和封闭片5，其中：中空环形压板组件3与隔离阀阀体2固定连接，封闭片5的压入段51放置于压板组件3的固定段52上，压紧环4设置于封闭片5的压入段51与隔离阀阀体2之间，封闭片5的固定段52与隔离阀阀体2面接触，所述的封闭片5的固定段52嵌入于隔离阀阀体2的凹槽中。

所述的压紧环4填满封闭片5的压入段51与隔离阀阀体2之间的区域，压紧环4的压力使封闭片5的压入段51位置固定。

所述的封闭片5为环状结构，该封闭片5的固定段52和压入段51之间设有密封段53。

如图5所示，所述封闭片5的固定段52的截面为长方形，该封闭片5的压入段51的截面为长方形，该封闭片5的密封段53的截面为半圆环型。