[实用新型]阵列基板的检测设备

权利要求书

1.一种阵列基板的检测设备，包括：光学检测设备，其特征在于，在所述光学检测设备外的至少一侧设置有用于吸除阵列基板上的漂浮型灰尘颗粒的除尘装置。

2.根据权利要求1所述的阵列基板的检测设备，其特征在于，所述除尘装置包括：用于吸除所述漂浮型灰尘颗粒除尘口和用于产生除尘吸力的除尘动力系统，所述除尘口与除尘动力系统相连接。

3.根据权利要求2所述的阵列基板的检测设备，其特征在于，所述除尘装置还包括：用于控制所述除尘口的开启和关闭的除尘口控制装置。

4.根据权利要求2或3所述的阵列基板的检测设备，其特征在于，所述除尘动力系统包括：用于过滤所述漂浮型灰尘颗粒的过滤器、用于产生除尘吸力的真空泵、用于控制所述真空泵开启、关闭并调整吸气量的控制装置、用于连接所述除尘口和所述过滤器的第一管道、用于连接所述过滤器和所述真空泵的第二管道和用于排出所述真空泵内气体的第三管道，所述第一管道一端与所述除尘口连接，所述第一管道另一端连接所述过滤器的入口，所述过滤器的出口连接所述第二管道一端，所述第二管道另一端与所述真空泵的入口相连，所述真空泵的出口连接所述第三管道，所述真空泵与所述控制装置连接。

5.根据权利要求1所述的阵列基板的检测设备，其特征在于，所述除尘装置底部与所述光学检测设备底部对齐。

6.根据权利要求5所述的阵列基板的检测设备，其特征在于，所述除尘装置底部距离阵列基板15μm至20μm。