[实用新型]一种晶圆激光打标机的自动送料机构有效
| 申请号： | 201120386771.0 | 申请日： | 2011-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN202278843U | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 闵大勇;卢飞星;孙绍文;王伟 | 申请（专利权）人： | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 秦士魁 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 打标机 自动 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆激光打标机的自动送料机构，其安装于晶圆激光打标机上，其特征在于，该自动送料机构包括有能带动晶圆进行上下移动的工装升降装置、能抓取晶圆并将晶圆水平移送到打标位置下方的晶圆抓取装置以及能将晶圆抬高到适合激光打标高度的晶圆升降装置。
2.如权利要求1所述的晶圆激光打标机的自动送料机构，其特征在于，所述工装升降装置上设有能装设晶圆的晶圆工装及用于驱动该晶圆工装上下移动的伺服电机，所述晶圆抓取装置包括有抓取托盘及用于驱动该抓取托盘在水平面内直线移动的抓取气缸，所述晶圆升降装置包括有升降托盘及用于驱动该升降托盘在竖直方向移动的升降气缸。
3.如权利要求2所述的晶圆激光打标机的自动送料机构，其特征在于，所述晶圆激光打标机设有对晶圆进行打标的激光打标头及对晶圆进行图像识别的CCD摄像机。
4.如权利要求3所述的晶圆激光打标机的自动送料机构，其特征在于，所述自动送料机构还包括有可编程逻辑控制器，该可编程逻辑控制器分别与所述工装升降装置、所述晶圆抓取装置及所述晶圆升降装置电气连接，所述激光打标头与所述CCD摄像机由工控机控制，所述可编程逻辑控制器与该工控机之间电气连接。
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