[实用新型]一种晶圆激光打标机的自动送料机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种自动送料机构，特别是指一种应用于晶圆激光打标机，由气缸与电动平移台组合而成的晶圆激光打标机的自动送料机构。

背景技术

随着激光加工技术的不断进步，激光器的运用领域得到不断拓展。近年来，在晶圆制造领域也越来越多的运用到光刻技术，针对晶圆制造领域，许多公司都推出了晶圆激光打标机产品。但随着生产力的不断提高，晶圆制造行业对激光打标机的生产效率提出了更高的要求，因此迫切需要更加方便的晶圆送料方式以提高激光打标机的工作效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种能提高激光打标机工作效率的晶圆激光打标机的自动送料机构。

为达到上述目的，本实用新型提供一种晶圆激光打标机的自动送料机构，其安装于晶圆激光打标机上，该自动送料机构包括有能带动晶圆进行上下移动的工装升降装置、能抓取晶圆并将晶圆水平移送到打标位置下方的晶圆抓取装置以及能将晶圆抬高到适合激光打标高度的晶圆升降装置。

所述工装升降装置上设有能装设晶圆的晶圆工装及用于驱动该晶圆工装上下移动的伺服电机，所述晶圆抓取装置包括有抓取托盘及用于驱动该抓取托盘在水平面内直线移动的抓取气缸，所述晶圆升降装置包括有升降托盘及用于驱动该升降托盘在竖直方向移动的升降气缸。

所述晶圆激光打标机设有对晶圆进行打标的激光打标头及对晶圆进行图像识别的CCD摄像机。

所述自动送料机构还包括有可编程逻辑控制器，该可编程逻辑控制器分别与所述工装升降装置、所述晶圆抓取装置及所述晶圆升降装置电气连接，所述激光打标头与所述CCD摄像机由工控机控制，所述可编程逻辑控制器与该工控机之间电气连接。

借由本实用新型的晶圆激光打标机的自动送料机构，可以提高激光打标机的工作效率，且该送料机构具有稳定、高效、安全等优点。

附图说明

图1为本实用新型晶圆激光打标机的自动送料机构的结构示意图；

图2为本实用新型中的工装升降装置的结构示意图；

图3为本实用新型中的晶圆升降装置的结构示意图；

图4为本实用新型中的晶圆抓取装置的结构示意图；

图5为本实用新型晶圆激光打标机的自动送料机构工作原理图；

图6为本实用新型晶圆激光打标机的自动送料机构电气控制原理框图。

具体实施方式

为便于对本实用新型的结构及达到的效果有进一步的了解，现结合附图并举较佳实施例详细说明如下。

如图1所示，本实用新型的晶圆激光打标机的自动送料机构，其安装于晶圆激光打标机上，该自动送料机构包括有能带动晶圆4进行上下移动的工装升降装置1、能抓取晶圆4并将晶圆4水平移送到打标位置下方的晶圆抓取装置2以及能将晶圆4抬高到适合激光打标高度的晶圆升降装置3。如图2至图4所示，该工装升降装置1上设有能装设晶圆的晶圆工装10，该晶圆工装10由伺服电机11驱动上下移动；晶圆抓取装置2包括有抓取气缸20及抓取托盘21，该抓取气缸20用以驱动抓取托盘21在水平面内直线移动；该晶圆升降装置3包括有升降气缸30与升降托盘31，该升降气缸30用以驱动升降托盘31在竖直方向移动并使升降托盘31上的晶圆移动至适当位置以便使激光打标头对晶圆进行打标。