[实用新型]单晶炉的炉盖有效

专利信息
申请号: 201120389996.1 申请日: 2011-10-14
公开(公告)号: CN202323119U 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 王元斌;邹宇琦;曹凤凯;刘献伟 申请(专利权)人: 上海施科特光电材料有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;F27D1/18;F27D21/02
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所 31251 代理人: 张坚
地址: 201403 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉
【权利要求书】:

1.一种单晶炉的炉盖,其上具有籽晶杆通道和观察视窗,其特征在于:所述观察视窗为至少一个凸起于炉盖上表面的观察通道,所述观察通道内设有玻璃,所述玻璃下方设有可选择性地打开或关闭所述观察通道的遮挡机构。

2.根据权利要求1所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述观察通道向炉盖中心倾斜。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述观察通道有2个,间隔分布在炉盖上。

4.根据权利要求3所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述遮挡机构为设于炉盖下表面的挡板。

5.根据权利要求4所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述炉盖上表面设有穿过炉盖的旋钮,所述旋钮的下端连接所述挡板。

6.根据权利要求5所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述挡板为长椭圆形。

7.根据权利要求3所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述籽晶杆通道位于炉盖的中心,所述2个观察通道环绕所述籽晶杆通道设置。

8.根据权利要求1所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述籽晶杆通道由波纹管、炉盖上凸口、以及连接波纹管、炉盖上凸口之间的密封器件和密封法兰构成。

9.根据权利要求1所述的单晶炉的炉盖,其特征在于:所述炉盖的上表面和下表面均为平面,

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