[实用新型]单晶炉的炉盖

说明书

技术领域

本实用新型属于蓝宝石生产设备技术领域，涉及生产蓝宝石的蓝宝石单晶炉，尤其涉及单晶炉的炉盖。

背景技术

蓝宝石单晶炉是将Al₂O₃粉末状或者块状原料制作成排列有序的单晶蓝宝石晶体的重要设备，而蓝宝石晶体又是LED产品重要的衬底材料。蓝宝石的稳定性好，品格配合上优于其他衬底材料，其电绝缘、透明、易导热、硬度高、耐磨等优点，已成为目前最有发展前途的LED衬底材料。而LED是一种节能环保、寿命长、和多用途的环保光源，也是国家重点发展环保节能项目。所以蓝宝石晶体的发展直接影响LED行业的发展。

在生长蓝宝石单晶过程中，需要通过视窗观察蓝宝石单晶体的生长过程，便于调整参数，得到高质量的蓝宝石单晶体。目前的单晶炉盖都是内部凹面结构，这样的结构加工难度大，而且对籽晶的支撑不稳，就对下籽晶工艺产生了困难。然而，目前的单晶炉视窗，又都是用双层石英玻璃，中间通冷却水构成。用冷却水通道结构复杂，并需要装配冷却水循环系统，同时水的流动会产生水波纹，影响观察准确度，由于蓝宝石单晶炉内的温度高达2100℃，冷却水的不均匀会导致玻璃破碎。另外，目前的蓝宝石单晶炉视窗观察都是单侧观察，这样的观察有局限性，不能充分了解晶体生长的全况。所以我们在平面蓝宝石单晶炉盖上设计三个倾斜视窗同时观察，而且观察炉内的位置相同，这样对晶体的生长能够充分的把握，便于设计参数，长出优质的蓝宝石单晶体

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单，观察视窗不易损坏的单晶炉的炉盖，以克服现有技术存在的不足。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种单晶炉的炉盖，其上具有籽晶杆通道和观察视窗，其特征在于：所述观察视窗为至少一个凸起于炉盖上表面的观察通道，所述观察通道内设有玻璃，玻璃固定在观察通道凸起体的上部位置，所述玻璃下方设有可选择性地打开或关闭所述观察通道的遮挡机构。

为了能够观察到炉内中心区域，所述观察通道向炉盖中心倾斜。

为了能够从不同角度均观察到炉内晶体生长状况，所述观察通道有2个，间隔分布在炉盖上。

在本实用新型的具体实施方式中，所述遮挡机构为设于炉盖下表面的挡板。所述炉盖上表面设有穿过炉盖的旋钮，所述旋钮的下端连接所述挡板。正是通过旋钮来实现驱动挡板打开或关闭所述观察通道。

在本实用新型具体实施方式中，所述籽晶杆通道位于炉盖的中心，2个观察通道环绕所述籽晶杆通道设置。

在本实用新型的具体实施方式中，所述籽晶杆通道由波纹管、炉盖上凸口、以及连接波纹管、炉盖上凸口之间的密封器件和密封法兰构成。

所述炉盖的上表面和下表面均为平面。

采用上述技术方案，本实用新型的单晶炉的炉盖具有结构简单、支撑强度大、观察视窗不易破损、以及对炉内晶体生长观察全面的优点。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行说明：

图1为本实用新型的立体结构图一；

图2为本实用新型的立体结构图二；

图3为本实用新型的侧视图；

图4为本实用新型的炉盖的下表面示意图；

图中：100-炉盖，200-籽晶杆通道，201-波纹管，202-炉盖上凸口，203-密封法兰 203，300-观察通道，401-旋钮，402-挡板。

具体实施方式

如图1和图2所示，本实用新型的单晶炉的炉盖100，炉盖100的上表面和下表面均为平面。在炉盖100中心位置具有籽晶杆通道200，环绕该籽晶杆通道200均匀间隔分布有2个凸起于炉盖上表面的圆柱状的观察通道300，并且该观察通道300均向炉100盖中心倾斜，以这2个观察通道300作为本实用新型的观察视窗。在观察通道300内安装有位于视窗口外侧的玻璃。玻璃与观察通道300之间用密封圈密封。

籽晶杆通道200包括波纹管201、炉盖上凸口202、以及它们之间的密封器件和密封法兰203。波纹管201下端与炉盖上凸出口202的上端用密封法兰203卡住连接，之间用密封器件(即密封圈)密封。