[实用新型]用于晶体生长的铜电极

说明书

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石单晶生产领域，特别是一种用于晶体生长的铜电极。

背景技术

蓝宝石是一种简单配位型氧化物晶体。具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，被广泛的应用于民用航天、半导体衬底、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料等，同时晶体生长设备-单晶生长炉也随之得到了飞速的发展。

通常蓝宝石晶体生长炉的温度控制，包括加热电源、温场，炉体、及温度控制单元。炉体中的电极将加热电源与温场的加热器连接，通过采用红外测温仪将炉体内温场的温度输出给温度控制单元，并通过调整电源输出功率，调整温场的温度，保证结晶界面的稳定性和晶体的完整性。

根据加热电源低电压大电流的特征，这就要求电极具备良好的导电性能，同时要有良好的散热冷却效果，防止高温变形及影响使用效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一通过连接加热电源和加热器，实现晶体生长炉的温度控制的用于晶体生长的铜电极。

本实用新型用于晶体生长的铜电极，包括：底板，在所述底板内设有水道；电极长轴，所述电极长轴的一端所述底板的一端连接；电极短轴，所述电极短轴的一端所述底板的另外一端连接；

所述用于晶体生长的铜电极还进一步包括一水道盖板，所述水道盖板设置在所述电极长轴与所述电极短轴的延长线非与所述底板连接端的所在端面。所述电极长轴与所述电极短轴为中空设计，所述电极长轴与所述电极短轴与所述水道贯通。所述电极长轴与所述电极短轴的截面为圆形。所述电极长轴与所述电极短轴与底板的连接端采用焊接定位。

本实用新型用于晶体生长的铜电极采用工业纯铜中的无氧铜，具有优良的导电性、导热性、延展性和耐蚀性。尤其导电性能非常好，在所有的金属中仅次于金、银，但铜比银便宜得多，因此更具有经济性。电极采用中空水冷结构，保证水路与真空腔体的隔离。电极长轴和电极短轴也采用中空结构，与底板采用焊接连接，同时中空腔贯通，保证水流畅通。电极长轴、电极短轴与底板连接部位焊前采用螺纹配合定位，减小焊接变形量。电极长轴、电极短轴为圆形结构，与加热电源输出端排连接，便于调整中心距的偏差，易于安装拆卸。

附图说明

图1为本实用新型用于晶体生长的铜电极结构示意图；

图2为本实用新型用于晶体生长的铜电极结构侧示图；

本实用新型用于晶体生长的铜电极附图中附图标记说明：

1-电极长轴    2-底板    3-水道盖板    4-电极短轴

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型用于晶体生长的铜电极作进一步详细说明。

如图1、图2所示，本实用新型包括电极长轴1、底板2、水道盖板3、电极短轴4。电极的材质采用工业纯铜中的无氧铜。底板2内有水道，通过与水道盖板3采用焊接连接，并且焊后磨平，保证水路与真空腔体的隔离。电极长轴1和电极短轴4也采用中空结构，与底板2采用焊接连接，同时中空腔贯通，保证水流畅通。电极长轴1、电极短轴4与底板2连接部位焊前采用螺纹配合定位。电极长轴1、电极短轴4为圆形结构，与加热电源输出端排连接。电极自中心部位一分为二，成为正负两部分。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。