[实用新型]一种场发射半裸磁扫描电镜用样品台有效
申请号: | 201120410059.X | 申请日: | 2011-10-25 |
公开(公告)号: | CN202282324U | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 赵益弘;黄淑英;刘胜新;陈永;邓晶;李二兴 | 申请(专利权)人: | 郑州大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/22 |
代理公司: | 郑州天阳专利事务所(普通合伙) 41113 | 代理人: | 聂孟民 |
地址: | 450001 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 发射 半裸磁 扫描电镜 样品 | ||
【权利要求书】:
1.一种场发射半裸磁扫描电镜用样品台,包括有台体和固定头,其特征在于,台体(5)上面有腔体(1),台体垂直的侧壁上有与腔体连通的固定孔(2),固定孔内装有固定体(3),台体下部中心处有固定头(4)。
2.根据权利要求1所述的场发射半裸磁扫描电镜用样品台,其特征在于,所述的台体为圆形。
3.根据权利要求1所述的场发射半裸磁扫描电镜用样品台,其特征在于,所述的固定体为螺钉或螺栓。
4.根据权利要求1所述的场发射半裸磁扫描电镜用样品台,其特征在于,所述的腔体为圆形或方形,腔体至少有一个。
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